晶圓等離子去膠機(jī)VP-RS15真空腔體不銹鋼材質(zhì)，腔體容積15升，功率500W，頻率13.56MHz，能對(duì)材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用，滿功率運(yùn)行3分鐘，腔體溫度不高于45℃，不損傷樣品，適用于晶圓去膠、芯片去膠、煤灰化、碳毯（CF）、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導(dǎo)電玻璃、石墨烯、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。
晶圓等離子去膠機(jī)
型號(hào)：
VP-RS15
品牌：
SUNJUNE(善準(zhǔn)科技)
