去年4月，中芯國(guó)際向荷蘭ASML公司訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī)，用于研究7nm及以下的先進(jìn)工藝。花費(fèi)超過(guò)1.2億歐元（約10億人民幣），預(yù)計(jì)今年底交貨，2020年正式安裝。來(lái)自日經(jīng)新聞消息稱(chēng)，因?yàn)槭艿矫绹?guó)政府關(guān)切，ASML將延后對(duì)中國(guó)晶圓代工企業(yè)中芯國(guó)際出貨。

對(duì)此ASML與中芯國(guó)際均對(duì)此表示否定。

11月7日下午，ASML向《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》獨(dú)家回應(yīng)稱(chēng)，對(duì)于日經(jīng)新聞報(bào)道的關(guān)于交貨時(shí)程僅為其媒體推測(cè)，ASML從未評(píng)論或確認(rèn)，對(duì)其將推測(cè)直接定性為事實(shí)作為新聞標(biāo)題并在文中闡述，表示抗議。

ASML相關(guān)負(fù)責(zé)人強(qiáng)調(diào)：“實(shí)際上在我們第三季度財(cái)報(bào)中，就已經(jīng)將相關(guān)情況進(jìn)行說(shuō)明，根據(jù)瓦圣納協(xié)議（Wassenaar Arrangement），ASML出口EUV到中國(guó)需取得荷蘭政府的出口許可（export license）。該出口許可于今年到期，ASML已經(jīng)于到期前重新進(jìn)行申請(qǐng)，目前正在等待荷蘭政府核準(zhǔn)。因此，關(guān)于“ASML決定延遲/終止出貨”的說(shuō)法是錯(cuò)誤的，ASML系遵循法規(guī)行事，并一視同仁地服務(wù)我們?nèi)蚩蛻?hù)。”

對(duì)于何時(shí)能拿到許可證，ASML相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，目前處于正常的流程狀態(tài)中，尚未掌握確切的時(shí)間。

中芯國(guó)際也進(jìn)行回應(yīng)：“極紫外光（EUV）還在紙面工作階段，未進(jìn)行相關(guān)活動(dòng)。公司先進(jìn)工藝研發(fā)進(jìn)展順利。目前，研發(fā)與生產(chǎn)的連結(jié)一切正常，客戶(hù)與設(shè)備導(dǎo)入正常運(yùn)作。”

ASML是全球EUV光刻機(jī)的唯一供應(yīng)商，并且是全球市值最高的芯片設(shè)備制造商。ASML年收入約在 83 億歐元 （約 92 億美元） 左右。其中16%來(lái)自英特爾和美光等美國(guó)公司，19%來(lái)自中國(guó)。據(jù)了解，臺(tái)積電、三星已于2019年導(dǎo)入量產(chǎn)最先端產(chǎn)品的EUV設(shè)備，且蘋(píng)果預(yù)計(jì)2020年下半開(kāi)賣(mài)的新型iPhone預(yù)估就會(huì)搭載采用該技術(shù)的CPU。

中芯國(guó)際是我國(guó)最大的半導(dǎo)體制造公司，今年14nm制程已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，追平臺(tái)聯(lián)電14nm制程工藝，如果未能準(zhǔn)時(shí)拿到最先進(jìn)光刻機(jī)設(shè)備，或影響趕超臺(tái)積電的日程表。

目前臺(tái)積電臺(tái)積電將包攬ASML今年的30臺(tái)EUV光刻機(jī)中的18臺(tái)，不過(guò)量產(chǎn)的7nm制程仍是基于DUV（深紫外）工藝，今年3月份才啟動(dòng)7nm EUV的量產(chǎn)。而三星在去年就小規(guī)模投產(chǎn)了7nm EUV。

不過(guò)，業(yè)內(nèi)人士透露，這批設(shè)備仍預(yù)計(jì)將在 2019 年底前出貨，并且在 2020 年底前完成裝機(jī)。
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