（文章來(lái)源：iVacuum）

容積真空泵有許多產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)和試驗(yàn)方法標(biāo)準(zhǔn)，有的是多年未修改，有的是近些年來(lái)已進(jìn)行了修訂，但還有一些方面需要研究和探討。ISO也發(fā)布了一些新標(biāo)準(zhǔn)，需要根據(jù)我國(guó)的具體情況進(jìn)行選擇性地貫徹。對(duì)此，根據(jù)我們多年的實(shí)踐和研究，提出一些新的看法和見(jiàn)解。

極限壓力的定義是：泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓力。這就是說(shuō)，它是一個(gè)無(wú)限的漸近的值，就象數(shù)學(xué)中的無(wú)窮小一樣，它是一個(gè)變量，在變化過(guò)程中它永遠(yuǎn)也達(dá)不到所謂的極限和最低，是一個(gè)無(wú)法測(cè)量的值。

也正如ISO21360-2007指出的，極限壓力是測(cè)試罩內(nèi)漸近的壓力值，它是泵可獲得的最低壓力，但沒(méi)有一個(gè)實(shí)際的測(cè)量方法或規(guī)范。因此，我們通常所測(cè)得的所謂極限壓力，只不過(guò)是假定的、人為認(rèn)定的極限壓力值，它沒(méi)有實(shí)際意義。

ISO21360-2007提出了一個(gè)新概念——基礎(chǔ)壓力，它的定義為：真空泵和測(cè)試罩達(dá)到工作條件后，測(cè)試罩內(nèi)的壓力。又指出，通常測(cè)試罩指定位置所測(cè)得的壓力即為基礎(chǔ)壓力。我們認(rèn)為它的定義說(shuō)得不夠明白、不夠確切、也不夠全面。

我們認(rèn)為基礎(chǔ)壓力正確的定義應(yīng)為：“泵按規(guī)定條件工作，在不引入氣體的情況下，標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩內(nèi)趨向穩(wěn)定的壓力”。它與原來(lái)的極限壓力的定義相比較，基礎(chǔ)壓力的定義中取消了關(guān)鍵的“最低”一詞，也就沒(méi)有了極限的含義，因此，這是一個(gè)可以測(cè)量的值，雖然是趨向穩(wěn)定，但也已經(jīng)離穩(wěn)定不太遠(yuǎn)了。

泵按規(guī)定條件工作，在不引入氣體的情況下，至少運(yùn)轉(zhuǎn)lh(氣鎮(zhèn)泵應(yīng)預(yù)先在氣鎮(zhèn)狀態(tài)下至少運(yùn)轉(zhuǎn)lh)，每間隔30min測(cè)量一次測(cè)試罩內(nèi)壓力，當(dāng)連續(xù)三次測(cè)量結(jié)果表明壓力不再變化，即認(rèn)為達(dá)到了基礎(chǔ)壓力，分壓和全壓的測(cè)量應(yīng)同時(shí)進(jìn)行。氣鎮(zhèn)泵應(yīng)在上述測(cè)量后，完全打開(kāi)氣鎮(zhèn)閥，泵溫穩(wěn)定后重新測(cè)量氣鎮(zhèn)時(shí)的基礎(chǔ)壓力。

分壓一直是用壓縮式真空計(jì)測(cè)量的，它的工作液是汞，考慮到環(huán)境污染，國(guó)際上非常重視限制和禁止使用汞的工作，我國(guó)最大的汞使用行業(yè)—氯堿行業(yè)已明確汞污染防治的總體規(guī)劃時(shí)間表，2021-2030年為無(wú)汞化階段。禁止使用汞的時(shí)代終將來(lái)到，但到目前為止還沒(méi)有一種儀表可以取代它來(lái)直接測(cè)量分壓，因此這項(xiàng)工作必須抓緊進(jìn)行。在現(xiàn)階段，建議用薄膜真空計(jì)(加冷阱)來(lái)測(cè)量分壓，或者是干脆取消分壓的考核和測(cè)量，因?yàn)榉謮簩?duì)用戶(hù)來(lái)說(shuō)并沒(méi)有多少實(shí)用意義，國(guó)外不少公司也已取消了分壓指標(biāo)。

全壓用薄膜真空計(jì)測(cè)量。薄膜真空計(jì)中常用的是差動(dòng)式雙電容薄膜計(jì)，它不但測(cè)量精度高，而且測(cè)量下限可達(dá)10-3Pa。它有一個(gè)高真空基準(zhǔn)膜盒，薄膜計(jì)的示值實(shí)際上是傳感器的測(cè)量值與基準(zhǔn)膜盒相比較的結(jié)果，基準(zhǔn)膜盒由于存在著放氣和漏氣，它的真空度會(huì)非常緩慢、不斷地下降，因此薄膜計(jì)的零位應(yīng)該經(jīng)常進(jìn)行校準(zhǔn)，尤其是對(duì)低量程的1Torr(133Pa)和0.1Torr(13Pa)的傳感器而言，它的影響更大，故基準(zhǔn)膜盒應(yīng)根據(jù)具體變化情況，及時(shí)進(jìn)行高真空處理或更換。

還有一點(diǎn)必須注意，薄膜真空計(jì)在使用中，低量程傳感器絕對(duì)不可充入大氣，即使在停止使用期間，也必須保持在較高的真空狀態(tài)下，以免膜片產(chǎn)生永久變形，影響薄膜真空計(jì)的測(cè)量準(zhǔn)確度。

熱傳導(dǎo)真空計(jì)從結(jié)構(gòu)上分析，它應(yīng)該有較好的測(cè)量準(zhǔn)確度，但市場(chǎng)上各種真空計(jì)之間相對(duì)誤差較大，即使是同一廠商生產(chǎn)的真空計(jì)之間也有類(lèi)似問(wèn)題，因此使用部門(mén)必須要有校準(zhǔn)設(shè)備，定期進(jìn)行校準(zhǔn)，以保證熱傳導(dǎo)真空計(jì)的測(cè)量準(zhǔn)確度，才能滿(mǎn)足泵性能測(cè)量的要求。
（責(zé)任編輯：fqj）