近日，從電科裝備旗下爍科中科信公司傳來喜訊，公司研發(fā)的12英寸中束流離子注入機順利發(fā)往某集成電路大產(chǎn)線，這臺由客戶直接采購的設(shè)備如期交付，標(biāo)志著公司國產(chǎn)離子注入機市場化進程再上新臺階。

據(jù)介紹，離子注入機是將特定種類離子以指定參數(shù)注入至特定材料中的一種設(shè)備，執(zhí)行的是核心的摻雜工藝。半導(dǎo)體要做成器件，要改變電性能，必須摻入雜質(zhì)，離子注入機就是執(zhí)行摻雜工藝的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。“每一個器件生產(chǎn)過程中，需要進行很多次離子注入，注入到器件不同的位置，注入的次數(shù)對于不同器件類型和工藝節(jié)點有差異，例如對于28nm邏輯器件，注入次數(shù)約為40次?！睜q科中科信公司技術(shù)總監(jiān)張叢介紹說。

目前，國內(nèi)集成電路離子注入設(shè)備市場幾乎被國外壟斷，國產(chǎn)設(shè)備市場份額小，爍科中科信是我國目前唯一的一家全系列集成電路離子注入機集研發(fā)、制造、服務(wù)于一體的供應(yīng)商。在研發(fā)過程中，研發(fā)團隊攻克了光路、晶圓傳輸、劑量控制、通用軟件系統(tǒng)等離子注入機共性關(guān)鍵技術(shù)。中束流離子注入機突破了高精度束流角度控制、小發(fā)射度長壽命離子源等關(guān)鍵技術(shù)，大束流離子注入機則進一步突破了低能大流強束流傳輸與控制、支持十余種離子的大流強長壽命離子源等關(guān)鍵技術(shù)，高能離子注入機在高能（MeV）離子加速、高電荷態(tài)離子源等關(guān)鍵技術(shù)上實現(xiàn)了突破。

追平主流只是開始，成體系實現(xiàn)國產(chǎn)替代才是目標(biāo)?！盃q科中科信公司已形成全系列離子注入機產(chǎn)品體系，建立了符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)要求的離子注入機產(chǎn)業(yè)化平臺，年產(chǎn)能達(dá)30臺，公司的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于全球知名芯片制造企業(yè)，并獲客戶高度認(rèn)可?！睆垍舱f，公司自主研制的離子注入機系列產(chǎn)品還斬獲了北京市科學(xué)技術(shù)進步一等獎等多項榮譽，在客戶產(chǎn)線上累計跑片650萬片，穩(wěn)定支撐了客戶量產(chǎn)。除此之外，還建立了一支專業(yè)化的售后服務(wù)團隊，實行7×24小時響應(yīng)機制，持續(xù)提升客戶體驗，加速國產(chǎn)化進程。

公司負(fù)責(zé)人說，將進一步圍繞攻克核心關(guān)鍵技術(shù)持續(xù)發(fā)力，推進中束流和大束流離子注入機產(chǎn)業(yè)化，同時，緊跟先進工藝發(fā)展，開展適用于更先進工藝節(jié)點的離子注入機的研發(fā)工作，并不斷拓展離子注入機在新興領(lǐng)域的應(yīng)用。