①減反射膜：例如，照相機、幻燈機、投影儀、電影放映機、望遠鏡、瞄準鏡以及各種光學(xué)儀器透鏡和棱鏡上所鍍的單層 MgF薄膜，雙層或多層的由 SiOFrO2、AlO、 TiO?等薄膜組成的寬帶減反射膜。

② 反射膜：例如，大型天文望遠鏡的鋁膜，光學(xué)儀器中的反射膜，各類激光器中的高反射膜等。

③分光鏡和濾光片：例如，彩色擴印與放大設(shè)備中所用的紅、綠、藍三種原色濾光片上鍍的多層膜。

④照明光源中所用的反熱鏡與冷光膜。

⑤建筑物、汽車、飛機上用的光控制膜、低反射膜。例如，Cr、Ti、不銹鋼、Ag、TiO2、Ag-TiO?，以及ITO 膜等。

⑥ 激光唱片與光盤中的光存儲薄膜。例如，F(xiàn)es1GesSOz磁系半導(dǎo)體化合物膜，TeFe Co 非晶膜。

⑦集成光學(xué)元件與光波導(dǎo)中所用的介質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜。

振華自動化磁控濺射鍍光學(xué)膜設(shè)備介紹：

我司成功研發(fā)出SOM系列設(shè)備，是一款全自動化的磁控濺射鍍光學(xué)膜設(shè)備。設(shè)備具有自動化程度高、載量大、產(chǎn)能大、穩(wěn)定性高等優(yōu)點。設(shè)備鍍制膜層性能優(yōu)越，可鍍制多種/多重精密光學(xué)膜。

·設(shè)備介紹

1.自動化程度更高

自帶回傳閉環(huán)生產(chǎn)功能，配備可分隔的進出料腔，進料與出料同時自動進行；外設(shè)配備機械手上下載片。自動化程度高，生產(chǎn)效率快，大幅度減少人工成本。

2.載量、產(chǎn)能更大，能耗降低

默認配套24塊載片，有效鍍膜面積高達8平方米。與常規(guī)電子束蒸發(fā)光學(xué)機對比，其產(chǎn)能增加約50%，能耗降低約20%。

3、鍍制膜層優(yōu)勢多，膜層性能優(yōu)越

●可鍍多種/多重精密光學(xué)膜：如AR膜、AS/AF膜、高反膜等高精度多層光學(xué)薄膜；

●鍍膜品質(zhì)好：配備獨立鍍膜腔，始終保持鍍膜室的真空狀態(tài)，有利于保證鍍膜品質(zhì)；

●膜層致密：采用磁控濺射鍍膜技術(shù)，離子源能量高，膜層更致密，結(jié)合力更優(yōu)；

●鍍制膜層穩(wěn)定性更高：設(shè)備配備了良好的抽氣系統(tǒng)、穩(wěn)定的電源輸出、高穩(wěn)定性的陰極系統(tǒng)、高速的工件旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、精密的全自動程序控制系統(tǒng)，使得鍍制膜層時具備極為穩(wěn)定的沉積速率，保證膜層厚度精準，應(yīng)力小，重復(fù)性好；

●硬度高：配備高能離子源，膜層反應(yīng)程度高，可得到高純化合物膜層，膜層硬度大幅提升：對比藍寶石鍍膜機，沉積膜層 SixNx純度更高，硬度可達9H；

●膜系搭配靈活：可在線變更膜系工藝，滿足不同工藝要求，節(jié)省工藝研發(fā)成本。

·行業(yè)應(yīng)用：

SOM設(shè)備可沉積TiO2、SiO2、Nb2O5、NB、CR、Ni、 In、Ag、AF等材料，可實現(xiàn)各類光學(xué)彩膜、AR膜等膜系。

設(shè)備可廣泛應(yīng)用于手機蓋板、車載玻璃顯示屏、攝像頭等玻璃類產(chǎn)品，電子煙霧化芯產(chǎn)品、樹脂片等。

審核編輯：劉清