2023世界半導(dǎo)體大賽19日在江蘇南京國際博覽中心舉行。尖端國產(chǎn)離子注入器產(chǎn)業(yè)化領(lǐng)先者、凱斯通副總經(jīng)理張長勇通過題為《凱世通離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)化發(fā)展》的主題演講，重點(diǎn)介紹了凱世通國產(chǎn)尖端離子注入器的研究開發(fā)模式和產(chǎn)業(yè)化過程。

張長勇介紹，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率仍提高非線性區(qū)間，除國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商增長驅(qū)動力外，行業(yè)規(guī)模自然擴(kuò)張；作為國內(nèi)市場的國產(chǎn)，目前國產(chǎn)設(shè)備的28nm制造過程及更加成熟的工藝覆蓋度日趨完善，積極推進(jìn)制造過程，突破新技術(shù)國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備集中通過驗(yàn)證，正式開始量的增長。

凱世通國產(chǎn)高端離子注入器產(chǎn)業(yè)化處于領(lǐng)先地位。低能量束離子注入器是先進(jìn)邏輯和存儲器芯片制造的核心設(shè)備，約占離子注入器市場的60%，高能和中束離子注入器分別占20%。凱世通作為完全覆蓋28納米低能源離子注入工程的國內(nèi)供應(yīng)商，首次完成了高能離子注入機(jī)械生產(chǎn)線的驗(yàn)證。

凱世通技術(shù)團(tuán)隊(duì)遵循“一步”的研發(fā)戰(zhàn)略，從“第一原理”出發(fā)，根據(jù)客戶的需要，改進(jìn)不同的技術(shù)、不同的應(yīng)用特點(diǎn)和設(shè)備。凱世通構(gòu)建了包括基本技術(shù)和應(yīng)用技術(shù)在內(nèi)的“通用平臺+核心技術(shù)模式化+精細(xì)化產(chǎn)品系列化”的完善技術(shù)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了加速控制、等防掃描等滿足28納米以上尖端技術(shù)的高級控制功能。

今后，凱世通將以保障集成電路產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈的安全為己任，實(shí)踐cip的持續(xù)改善理念，持續(xù)拓展技術(shù)上限，持續(xù)提高產(chǎn)業(yè)化能力，幫助客戶提高批量生產(chǎn)。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上，與會貴賓認(rèn)真傾聽張長勇的報(bào)告。凱斯通市長負(fù)責(zé)人和現(xiàn)場合作伙伴們進(jìn)行了友好的協(xié)商。借此機(jī)會，加強(qiáng)與行業(yè)的交流合作，拓展業(yè)務(wù)網(wǎng)絡(luò)，就集成電路產(chǎn)業(yè)的“芯片新臺，新未來”交換意見。