蘇大維格：28nm***光柵尺周期精度需小于2nm
據(jù)中國(guó)媒體報(bào)道，9月7日蘇州蘇大維格科技集團(tuán)股份有限公司（蘇大維格，300331.SZ）在投資者交流平臺(tái)上寫(xiě)道：“貴公司的光柵尺最高分辨率是多少？準(zhǔn)確度是多少？”28納米工程需要小于2納米的網(wǎng)格周期，公司相關(guān)產(chǎn)品需要小于1納米的周期?？紤]到秘密情報(bào)，詳細(xì)的參數(shù)很難泄露。
公開(kāi)的資料顯示，蘇大維格他致力于微納關(guān)鍵技術(shù)，柔性智能制造、柔性光電子材料的創(chuàng)新應(yīng)用，涉及微納光學(xué)印材、納米印刷、3D成像材料、平板顯示（大尺寸電容觸控屏，超薄導(dǎo)光板）、高端智能微納裝備（納米壓印、微納直寫(xiě)光刻、3D光場(chǎng)打印等）的開(kāi)發(fā)和技術(shù)產(chǎn)業(yè)化，2012年6月28日在深圳證券交易所a股創(chuàng)業(yè)板上市。該公司在今年7月的互動(dòng)平臺(tái)上表示：“公司向相關(guān)企業(yè)少量（少量）提供了用于半導(dǎo)體領(lǐng)域投影式***的位置追蹤光柵尺部件，目前在相關(guān)收入中所占的比重非常低?！?/p>
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