在科研和工業(yè)領(lǐng)域?qū)τ诟呔苓\(yùn)動與控制應(yīng)用的需求下，壓電馬達(dá)以小體積、大行程、高精度的優(yōu)勢脫穎而出。壓電馬達(dá)工作原理是利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)產(chǎn)生的微位移轉(zhuǎn)換為機(jī)械平面的宏觀直線或者角度運(yùn)動，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體技術(shù)、光學(xué)儀器設(shè)備、醫(yī)療生物技術(shù)、精密加工設(shè)備、航空航天等領(lǐng)域。

本次為大家推薦一款360°雙向旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)，它的型號是N61.E/K56-B。它是由壓電陶瓷驅(qū)動的壓電步進(jìn)直驅(qū)馬達(dá)，利用特殊機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計，可產(chǎn)生360°雙向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，旋轉(zhuǎn)分辨率可達(dá)1μrad。它的外觀很薄，且底部凹槽式設(shè)計，非常適于集成。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點

360度雙向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動

速度可達(dá)5°/s

可上位機(jī)軟件控制

真空版本可定制

產(chǎn)品應(yīng)用

1.干涉：芯明天壓電旋轉(zhuǎn)馬達(dá)可調(diào)整光闌孔徑大小，通過調(diào)節(jié)光闌的形狀，可以控制光的相位和干涉效應(yīng)，從而實現(xiàn)對圖像的調(diào)節(jié)和優(yōu)化。

斐索(Fizeau)干涉儀原理圖

2. 微流體控制：旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)可作為流體控制泵，以其體積小、高精度、快速的響應(yīng)速度的優(yōu)勢，可以連續(xù)的控制流體傳遞，如微配藥、微注射等。

注：圖片來源于網(wǎng)絡(luò)

3. 光闌開關(guān)：旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)可用于光闌控制，可有效控制光闌孔徑中孔直徑大小來調(diào)節(jié)通孔透光量。不僅在光學(xué)系統(tǒng)中可以提高成像質(zhì)量，在半導(dǎo)體領(lǐng)域中，透光量的改變對半導(dǎo)體的導(dǎo)電性會產(chǎn)生影響。

注：圖片來源于網(wǎng)絡(luò)

技術(shù)參數(shù)

配套控制器

E53.D1E-J E53.C1K-J 壓電控制器是專為驅(qū)動 360°旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)而設(shè)計，單通道輸出，采用數(shù)字控制，可閉環(huán)伺服或開環(huán)控制，外觀體積小巧，尺寸僅為105×103×30.1mm^3，結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成。

審核編輯 黃宇