5月21日上午，在上海浦東新區(qū)康橋工業(yè)園南區(qū)，由華虹集團旗下上海華力集成電路制造有限公司建設和營運的 12 英寸先進生產(chǎn)線建設項目（以下簡稱“華虹六廠”）實現(xiàn)首臺工藝設備——光刻機搬入。據(jù)悉，此次搬入的首臺工藝設備為荷蘭ASML的 NXT 1980Di 光刻機，是目前中國大陸集成電路生產(chǎn)線上最先進的浸沒式光刻機。

上海華力相關負責人向集微網(wǎng)記者表示，未來五個月內，華虹六廠工藝設備將集中搬入，并完成安裝調試，今年年底之前將實現(xiàn)試生產(chǎn)，并達成 10K/月的產(chǎn)能。除了此次正式搬入的第一臺 ASML光刻機設備，未來幾個月內還將會有多臺光刻機設備陸續(xù)到位。

華虹六廠將于2022年底建成達產(chǎn)。

據(jù)了解，華虹六廠是上海市最大的集成電路產(chǎn)業(yè)投資項目，總投資 387 億元人民幣，將建成月產(chǎn)能 4 萬片的 12 英寸集成電路芯片生產(chǎn)線，工藝覆蓋 28-14 納米技術節(jié)點。項目計劃于 2022 年底建成達產(chǎn)。項目主要從事邏輯芯片生產(chǎn)，重點服務國內設計企業(yè)先進芯片的制造，并滿足部分事關國家信息安全的重點芯片制造需求。

自 2016 年 12 月 30 日開工以來，在參與華虹六廠建設的管理者有序組織協(xié)調下，廣大建設者克服連綿陰雨、持續(xù)高溫以及兩個春節(jié)長假放假等不利因素，合理安排，規(guī)范和錯時施工。經(jīng)過 16 個半月的努力，目前主廠房已完成凈化裝修，相關配套機電設備準備就緒，具備了工藝設備搬入條件，較原計劃進度提前 1 個半月。

上海華力相關負責人透露，“未來產(chǎn)品的應用領域非常廣泛，包括手機通訊類芯片、物聯(lián)網(wǎng)和人工智能等等。”

華虹集團黨委書記、董事長張素心表示，華力二期的啟動標志著華虹集團新二十年征程的開始，此次搬入的 NXT 1980Di 光刻機是迄今為止中國大陸最先進的光刻機，這個節(jié)點對于華力二期來說非常特殊。華虹無錫基地項目也已經(jīng)于今年 3 月 2 日正式開工，預示著華虹集團旗下華力二期和華虹無錫項目兩條 12 英寸項目將同時加快推進。

目前，總投資 100 億美元華虹無錫基地項目（華虹七廠）正在建設中，將新建一條工藝等級 90-65 納米、月產(chǎn)能約 4 萬片的 12 英寸特色工藝集成電路生產(chǎn)線，支持 5G 和物聯(lián)網(wǎng)等新興領域的應用。

大陸已有多家晶圓制造廠購入ASML設備

光刻機（又稱曝光機）是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設備，對芯片工藝有著決定性的影響。目前，全球僅有極少數(shù)的光刻機設備廠商能夠研制出高端光刻機，而荷蘭的 ASML 在高端光刻機領域占據(jù)了全球 90% 的市場份額，在干式曝光機、浸潤式光刻機，EUV（極紫外線光刻機）的市場幾乎處于獨霸地位。

此前有市場傳出受西方《瓦森納協(xié)議》的限制，中國只能買到 ASML 的中低端產(chǎn)品，出價再高，也無法購得 ASML 的高端設備。但是，ASML 已否認該傳言，并表示對中國大陸晶圓廠客戶一視同仁。

據(jù)了解，近日陸續(xù)有多臺 ASML 的設備運入中國大陸晶圓制造廠。其中，中芯國際已經(jīng)購入首臺價值 1.2 億美元的 ASML EUV 設備，預計將于 2019 年初交貨；長江存儲的首臺光刻機也已運抵武漢天河機場，這臺光刻機為 ASML 的 193nm 浸潤式光刻機，售價 7200 萬美元，用于 14nm~20nm 工藝。

華虹六廠首臺ASML光刻機正式搬入

而此次華虹六廠搬入的 NXT 1980Di 光刻機是一臺 193nm沉浸式光刻機，可用于 28nm~14nm 晶圓生產(chǎn)，同時它也是目前中國大陸最先進的沉浸式光刻設備。

ASML 全球執(zhí)行副總裁 Ron Kool 表示，自 2015 年以來，作為華力的戰(zhàn)略合作伙伴，ASML 團隊就跟華力團隊一起在28納米的研發(fā)項目中開展了緊密合作，并在光刻領域取得了可喜的成果。此后，我們以 ASML 光刻機為基礎，在 28 納米 HKMG 的研發(fā)項目中，跟華力團隊繼續(xù)開展了深入的合作，我們希望通過這樣的合作，在光刻領域更好、更全面的協(xié)助華力研發(fā)。

華虹六廠將助力上海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展

2017 年，上海市集成電路產(chǎn)業(yè)整體銷售規(guī)模接近 1200 億元，同比增長超過 12%。其中，芯片設計業(yè)實現(xiàn)銷售約440億元，同比增長近20%；芯片制造業(yè)實現(xiàn)銷售近 300 億元，同比增長約 8%；裝備材料業(yè)實現(xiàn)銷售超過 150 億元，同比增長超過 30%，成為帶動上海市集成電路產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的“三駕馬車”。

據(jù)悉，華虹六廠 12 英寸先進生產(chǎn)線項目已被列入國家《“十三五”集成電路產(chǎn)業(yè)重大生產(chǎn)力布局規(guī)劃》，是國家“910工程”的子項目之一，也是“十三五”期間上海市重大產(chǎn)業(yè)項目和上海市重大工程。

而此次華虹六廠實現(xiàn)首臺工藝設備搬入，標志著將康橋工業(yè)園南區(qū)打造為上海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展新基地、上海市落實《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》取得了階段性勝利，同時對上海建設先進制造業(yè)的產(chǎn)業(yè)集群高地、打響“上海制造”品牌有著重要意義。

上海華力相關負責人向集微網(wǎng)記者表示，華虹六廠達成量產(chǎn)能力后對于上海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大。首先，從客戶和服務的角度來看，在先進制程方面可以減少對海外制造能力的依賴，并實現(xiàn)上海本土化生產(chǎn)；同時，從國家戰(zhàn)略層面，華虹六廠項目也呼應了國家戰(zhàn)略方面的需要，將向高端芯片實現(xiàn)自主可控邁進。