南京屹立芯創(chuàng)半導(dǎo)體科技有限公司

在半導(dǎo)體先進(jìn)封裝向更高密度、更薄厚度、異質(zhì)集成演進(jìn)的浪潮中，Die Attach Film (DAF膠膜) 憑借其優(yōu)異的工藝精度、超薄特性（可低至<10μm）和簡(jiǎn)化流程的優(yōu)勢(shì)，已成為芯片貼裝不可或缺的核心材料。然而，其精密結(jié)構(gòu)也帶來了一個(gè)核心痛點(diǎn)——微米級(jí)氣泡（Void）問題。尤其在追求極致集成的3D堆疊、超薄芯片（<50μm）、2.5D/3D封裝等前沿領(lǐng)域，任何微小氣泡都可能成為封裝可靠性失效的“導(dǎo)火索”。

面對(duì)這一行業(yè)共性難題，屹立芯創(chuàng)憑借對(duì)先進(jìn)封裝工藝的深刻理解，聚焦于真空環(huán)境下的熱流精準(zhǔn)控制與智能氣壓調(diào)節(jié)核心技術(shù)，推出了一系列創(chuàng)新解決方案，直擊氣泡痛點(diǎn)，為高可靠性封裝保駕護(hù)航。

一、氣泡：高密度封裝的隱形殺手

DAF膠膜在貼裝過程中，受熱軟化后被壓合于芯片與基板的微米級(jí)界面中。界面微觀不平整、殘留氣體或排氣不暢等因素，都極易將氣體“鎖”在膠體內(nèi)，形成致命空洞。

?機(jī)械完整性崩塌：氣泡直接侵蝕有效粘接面積，顯著削弱結(jié)合強(qiáng)度，大幅提升界面分層（Delamination）風(fēng)險(xiǎn)。
?熱管理失效：氣泡是熱的絕佳絕緣體。它會(huì)阻塞芯片向基板的導(dǎo)熱路徑，形成局部熱點(diǎn)（Hot Spot），加速器件性能衰減。
?長(zhǎng)期可靠性隱患：在后續(xù)回流焊或溫度循環(huán)中，氣泡內(nèi)氣體受熱膨脹會(huì)產(chǎn)生巨大應(yīng)力，極易誘發(fā)芯片微裂紋或界面剝離。

超薄芯片與高密度堆疊更放大了這一風(fēng)險(xiǎn)：

芯片與DAF膜同步減薄，使得氣體逃逸路徑被極度壓縮，除泡難度呈指數(shù)級(jí)上升。多層芯片堆疊中，下層的一個(gè)微小氣泡都可能成為引發(fā)整個(gè)結(jié)構(gòu)力學(xué)失穩(wěn)的“多米諾骨牌”。

二、破局之道：真空除泡技術(shù)的精妙協(xié)同

傳統(tǒng)方法難以應(yīng)對(duì)微米級(jí)間隙中的氣泡挑戰(zhàn)。屹立芯創(chuàng)通過真空、熱流與壓力的精妙協(xié)同，實(shí)現(xiàn)了對(duì)氣泡的“精準(zhǔn)殲滅”。

1. 真空壓力除泡系統(tǒng)：深入“敵后”，動(dòng)態(tài)剿滅氣泡

核心技術(shù)：真空-壓力循環(huán)“呼吸法”

針對(duì)貼裝后已存在的界面氣泡，該系統(tǒng)通過精心設(shè)計(jì)的多段式真空-壓力循環(huán)程序，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)、深度除泡。

在高真空環(huán)境下，強(qiáng)力抽吸并擴(kuò)大溶解及游離的微米氣泡，使其脫離界面束縛。

隨后施加均勻的靜高壓，促進(jìn)膠體二次流動(dòng)與滲透，強(qiáng)力擠壓并溶解微小氣泡，同時(shí)確保界面緊密接觸。

通過多次循環(huán)，徹底清除包括邊緣氣阱（Air Trap）在內(nèi)的各類氣泡，實(shí)現(xiàn)完美界面填充。

應(yīng)用場(chǎng)景：

貼膜除泡：攻克貼合界面氣泡難題，為芯片堆疊/micro LED/OCA提供無缺陷貼合保障。

底填除泡：守護(hù)微米互連可靠性，確保倒裝芯片封裝長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

灌封除泡：實(shí)現(xiàn)模塊級(jí)結(jié)構(gòu)保護(hù)，提升車規(guī)與功率器件在惡劣環(huán)境下的耐久性。

銦TIM除泡：突破散熱界面導(dǎo)熱瓶頸，為CPU/GPU/AI芯片釋放極致性能潛能。

真空壓力除泡系統(tǒng)

三、微米世界的勝負(fù)手，為先進(jìn)封裝提供“零氣泡”基底

當(dāng)DBG/SDBG工藝將芯片帶入“超薄時(shí)代”，當(dāng)異質(zhì)集成成為提升算力的核心路徑，界面氣泡已成為制約其可靠性的最大瓶頸之一。

屹立芯創(chuàng)依托熱流與氣壓兩大核心技術(shù)，打造以真空除泡系統(tǒng)和晶圓級(jí)真空貼壓膜系統(tǒng)為核心的先進(jìn)封裝氣泡整體解決方案，致力于為全球客戶提供從材料、工藝到設(shè)備的全鏈條“零氣泡”保障，正躋身成為全球熱流與氣壓技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者與除泡品類專家，為半導(dǎo)體封裝的下一次革新奠定堅(jiān)實(shí)的可靠性基石。

審核編輯 黃宇