在5G、算力芯片,新能源、數(shù)字能源(光儲、輸變電)等高功率密度電子設(shè)備領(lǐng)域,能源技術(shù)的革新需求日益增長,控制半導(dǎo)體器件的結(jié)溫在一定的低水平上穩(wěn)定運(yùn)行是保障設(shè)備性能與可靠性的關(guān)鍵,而導(dǎo)熱界面材料(TIM)在整個(gè)散熱路徑中,扮演著至關(guān)重要的角色。
行業(yè)中大多數(shù)人都以為,界面熱阻(包含界面材料的體熱阻和接觸熱阻)和界面材料的熱導(dǎo)率成反比關(guān)系,熱導(dǎo)率越高,則界面熱阻越低,事實(shí)并非如此。
同時(shí)選用八種不同熱導(dǎo)率的Grease,在同樣預(yù)緊力的情況下,做相應(yīng)的測試。如下圖:

測試結(jié)果顯示熱阻和熱導(dǎo)率并不成反比【詳細(xì)請參考文章:熱測試(四)——結(jié)構(gòu)函數(shù)的實(shí)際應(yīng)用(2)】,分析其原因,影響界面材料的熱阻的因素,除了熱導(dǎo)率以外,還有一個(gè)重要的因素是界面材料的粘合層厚度?(BLT)。
BLT的定義:材料在組裝后形成的實(shí)際厚度,?BLT的物理意義在于?,它決定了熱量在界面處的傳輸路徑長度。

導(dǎo)熱硅脂的體熱阻為如下公式,
Rbulk= BLT /λTIM
Rbulk:體熱阻
BLT:粘合層厚度
λTIM:材料的熱導(dǎo)率
而界面材料的總熱阻的公式為,
Rtotal= Rbulk+ Rc1+ RC2
Rtotal:總熱阻
Rbulk:體熱阻
Rc1:上表面接觸熱阻
Rc2:下表面接觸熱阻
由上面兩組公式可以看出,較小的BLT能減少熱流阻力,但過小可能導(dǎo)致材料無法完全填充表面微觀空隙,增加接觸熱阻,實(shí)際上是否能降低總熱阻還是一個(gè)未知數(shù)。反之,如果BLT比較大,一定會增加體熱阻而導(dǎo)致總熱阻變大,降低導(dǎo)熱效率。?因此,我們需要通過對界面材料BLT的實(shí)際測試去研究界面材料的整體導(dǎo)熱能力。
在過去的很長時(shí)間內(nèi),對界面材料BLT,熱導(dǎo)率以及接觸熱阻測量的設(shè)備,主要是基于ASTM D5470的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn),但ASTM D5470的設(shè)備有先天性不足,除了BLT,其他測量結(jié)果通常存在很大的誤差,導(dǎo)致實(shí)際的導(dǎo)熱能力無法被客觀的評價(jià)【參考文章:熱測試(七)——對ASTM-D5470穩(wěn)態(tài)熱流法的改良】。2025年,魯歐智造基于瞬態(tài)熱測試技術(shù)研發(fā)高精度熱導(dǎo)率測試設(shè)備——CXTIM,在ASTM D5470的基礎(chǔ)上,做出了革命性的改良。大量的數(shù)據(jù)表明,CXTIM可以精確測試界面材料的熱導(dǎo)率和接觸熱阻。
一般來說,要測試界面材料的BLT,需要在幾百Kpa的壓強(qiáng)下,去測量粘合層厚度。CXTIM在Z方向的壓強(qiáng)可以達(dá)到1500Kpa,移動(dòng)精度是1um,可以精確測量界面材料的BLT,測試方式也非常的簡單,將樣品放置在測試臺上,逐步加大壓力,在壓力下,界面材料會逐步變?。ㄈ羰歉酄罟柚?,多余的材料會溢出),直至壓力變大而厚度不變時(shí),這個(gè)長度即是該界面材料的BLT。

測試BLT和測試熱導(dǎo)率的實(shí)驗(yàn)是一樣的,選擇某種導(dǎo)熱硅脂,該硅脂標(biāo)稱的熱導(dǎo)率是6.0W/mK,在同一盒包裝中不同位置分別取樣,測試其熱導(dǎo)率和導(dǎo)熱硅脂。測試結(jié)果如上圖。
三次熱導(dǎo)率分別是4.23,R2是0.9992,4.16,R2是0.9995,4.18,R2是0.9997。方差R2是實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)常用的分析工具,線性度越高,說明數(shù)據(jù)越可靠,CXTIM的方差都達(dá)到了三個(gè)9,說明實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可信度是比較高的。檢測數(shù)據(jù)比標(biāo)稱的數(shù)據(jù)要低30%,這個(gè)差距有點(diǎn)大,但也基本上符合歷史數(shù)據(jù)——傳統(tǒng)的熱導(dǎo)率設(shè)備的誤差在40%左右。我們統(tǒng)計(jì)分析了大量的數(shù)據(jù),發(fā)現(xiàn)國產(chǎn)的導(dǎo)熱硅脂標(biāo)稱的熱導(dǎo)率都相對偏高,多少不等,甚至有偏高200%的,而進(jìn)口的導(dǎo)熱硅脂,大部分標(biāo)稱值比測試值要偏低,大概10%左右。

在BLT的測試中,測得該導(dǎo)熱硅脂的最小壓縮厚度是40um,實(shí)驗(yàn)是從250um開始測試,最先是每減小50um測一次數(shù)據(jù),到100um以下每減小20um測一次數(shù)據(jù),到60um以下,每減小10um測一次數(shù)據(jù),最終數(shù)據(jù)是40um。分析數(shù)據(jù)我們發(fā)現(xiàn)了一個(gè)現(xiàn)象,250um到100um的數(shù)據(jù),測得熱導(dǎo)率是4.13,R2是0.9980,而100um以上的數(shù)據(jù),測得熱導(dǎo)率是3.90,R2是0.9630,隨著壓縮厚度越來越小,熱導(dǎo)率呈現(xiàn)下降趨勢,而且數(shù)據(jù)可信度也隨之下降。

TIM的內(nèi)部結(jié)構(gòu)如上圖,分析上述的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),可能有兩個(gè)原因。一、當(dāng)壓縮到一定厚度以后,材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)在物理上發(fā)生了一定變化,可能會導(dǎo)致熱導(dǎo)率降低;二、被壓到很小的厚度后,導(dǎo)致接觸熱阻發(fā)生了變化,可能的接觸關(guān)系不良使得總熱阻變大。
這就帶來一個(gè)問題,我們費(fèi)盡心思去測量出材料的熱導(dǎo)率,在實(shí)際應(yīng)用中,可能因?yàn)楣r復(fù)雜而導(dǎo)致模型的精度降低。材料的表面粗糙度,硬度,壓力,以及和界面材料之間的浸潤性等等因素,可能都會對接觸熱阻產(chǎn)生影響(參考文章:接觸熱阻的仿真標(biāo)定,物理測量及影響因素),而接觸熱阻的測量,因?yàn)槠鋸?fù)雜度幾何級的上升,而導(dǎo)致數(shù)據(jù)精度不可能非常高。因此,為了總體優(yōu)化界面熱阻,?界面材料的厚度控制,要綜合考慮材料特性與工藝條件?:液態(tài)材料(如導(dǎo)熱膏)可通過粘度調(diào)控實(shí)現(xiàn)低BLT,但需避免溢出或干涸;固態(tài)材料(如彈性導(dǎo)熱布)依賴外部壓力控制BLT,通常需數(shù)百kPa壓力,且界面熱阻可能占總熱阻主導(dǎo)。實(shí)際應(yīng)用中,BLT需與材料導(dǎo)熱系數(shù)協(xié)同優(yōu)化,例如高導(dǎo)熱材料可容忍稍厚BLT,而低導(dǎo)熱材料需嚴(yán)格控制BLT以降低熱阻。?我們也可以用模型去預(yù)測材料的導(dǎo)熱性能,而最終檢驗(yàn)設(shè)計(jì)的合理性的唯一依據(jù)是結(jié)溫的高低,這符合第一性原理。
有一個(gè)題外話,行業(yè)中定義接觸熱阻,通常用的量綱是℃cm2/W,或者是Kcm2/W,仿真軟件中設(shè)置接觸熱阻,量綱用的也是這個(gè)。我們都知道熱阻的量綱是K/W,仿真軟件在設(shè)置接觸熱阻時(shí),其實(shí)是把對象的面積信息也包含進(jìn)去了,也就是其熱阻值乘以實(shí)際的接觸面積,并不是接觸面的熱阻值。這個(gè)值的精度其實(shí)是沒有意義的,因?yàn)樵谕瑯拥臒嶙铚y量精度下,只要面積能無限的縮小,就可以無限的提高這個(gè)值的精度,這和實(shí)際的物理是相悖的。因此這個(gè)量綱作為一個(gè)仿真的設(shè)置值是合理的,但作為一個(gè)測試設(shè)備的評價(jià)指標(biāo),是不合理的。
魯歐智造的新產(chǎn)品CXTIM,可以精確測熱導(dǎo)率,也可以在一定程度上測接觸熱阻,CXTIM的測試數(shù)據(jù)如下圖:

從實(shí)際數(shù)據(jù)分析,我們發(fā)覺熱導(dǎo)率偏低的材料,其線性度較差,而熱導(dǎo)率比較高的材料,線性度也比較差,而中間這部分材料的線性度基本都在三個(gè)9以上(樣品特殊,原因是其添加劑有一定的各項(xiàng)異性),這也是符合實(shí)際的物理現(xiàn)象的。魯歐智造上海實(shí)驗(yàn)室,已部署CXTIM設(shè)備,歡迎業(yè)內(nèi)專家蒞臨指導(dǎo)(現(xiàn)在就可以預(yù)約了)。
審核編輯 黃宇
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