MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)是一種使產(chǎn)品集成化、微型化、智能化的微型機(jī)電系統(tǒng)。在半導(dǎo)體集成電路技術(shù)之上發(fā)展起來(lái)的硅基MEMS制造技術(shù)目前使用十分廣泛。

國(guó)外技術(shù)發(fā)展日趨成熟

上世紀(jì)80年代，在美國(guó)政府的高度重視下MEMS技術(shù)研發(fā)開(kāi)始起步。1992年“美國(guó)國(guó)家關(guān)鍵技術(shù)計(jì)劃”把“微米級(jí)和納米級(jí)制造”列為“在經(jīng)濟(jì)繁榮和國(guó)防安全兩方面都至關(guān)重要的技術(shù)”。此后美國(guó)國(guó)家自然基金會(huì)(NSF)、美國(guó)國(guó)防部先進(jìn)研究計(jì)劃署(DARPA)等機(jī)構(gòu)先后對(duì)該項(xiàng)目給予了支持。

硅基MEMS制造技術(shù)在美國(guó)的專利總數(shù)呈逐年增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)(美國(guó)專利商標(biāo)局專利申請(qǐng)數(shù)據(jù)庫(kù)只提供2001年至今的數(shù)據(jù))。就專利申請(qǐng)數(shù)量來(lái)看，從2002年開(kāi)始大幅度增加，從2008年至今發(fā)展平穩(wěn)，表明該技術(shù)趨向成熟，相應(yīng)專利授權(quán)數(shù)量穩(wěn)定在550件以上。

擁有美國(guó)專利申請(qǐng)與授權(quán)專利的國(guó)家(地區(qū))是美國(guó)、日本、韓國(guó)和中國(guó)臺(tái)灣等，美國(guó)權(quán)利人/申請(qǐng)人擁有的授權(quán)專利數(shù)量遠(yuǎn)超其他國(guó)家，具有絕對(duì)優(yōu)勢(shì)。

在美國(guó)專利權(quán)利人/申請(qǐng)人排名前10位中有7家美國(guó)企業(yè)，這也充分表明美國(guó)在硅基MEMS制造技術(shù)領(lǐng)域占據(jù)一定優(yōu)勢(shì)。其中，Honeywell擁有的美國(guó)專利最多，且該公司的申請(qǐng)趨勢(shì)還在持續(xù)上揚(yáng)。在授權(quán)專利方面緊隨其后的是英特爾公司，韓國(guó)三星公司，日本索尼公司、富士通公司分列第三、第九、第十位。而在已公開(kāi)專利申請(qǐng)方面排名第二、三位的是三星公司與高通公司。

總體上，各個(gè)發(fā)達(dá)國(guó)家都非常重視硅基MEMS制造技術(shù)的研發(fā)。美國(guó)在硅基MEMS制造領(lǐng)域創(chuàng)新全球領(lǐng)先，近十年來(lái)成立了不少的MEMS創(chuàng)新公司，成為美國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的支撐力量;歐洲MEMS產(chǎn)業(yè)經(jīng)過(guò)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間的累積，形成了一定數(shù)量的專利技術(shù)和成果，同時(shí)將目標(biāo)市場(chǎng)鎖定為汽車電子領(lǐng)域;日本公司在MEMS相關(guān)領(lǐng)域也有著不錯(cuò)的科技與技術(shù)積累，并且在MEMS基礎(chǔ)研發(fā)上投入相當(dāng)多的資源，頗具實(shí)力。