電子發(fā)燒友App
創(chuàng)作
發(fā)文章
發(fā)帖 
提問 
發(fā)資料
發(fā)視頻資料介紹
光刻機掃描曝光模型
掃描曝光過程的抽象模型如圖 1 所示 。激光器發(fā)出的脈沖光束經(jīng)過光路傳輸系統(tǒng)， 從開口大小可調(diào)的狹縫中投影到工件臺上， 形成投影光斑 。當曝光場前沿與光斑前沿重合時 ，掃描開始;此后曝光場勻速經(jīng)過投影光斑;當曝光場后沿與光斑后沿重合時 ，掃描結(jié)束 。
光刻機劑量控制器結(jié)構(gòu)
掃描投影光刻機劑量控制系統(tǒng)如圖 2 所示 ，從準分子激光器發(fā)出的脈沖激光， 先經(jīng)過底端照明光路（包括光束擴充鏡組、定位 定向鏡組、縮放 錐形鏡組等）和可變透過率衰減片， 到達能量傳感器， 再經(jīng)過頂端照明光路（包括光能量均勻棒 、掃描狹縫、照明鏡組等）、掩模版和投影物鏡， 最終投射到硅片表面。光路中安裝有一個能量傳感器， 測量每個激光脈沖的能量并結(jié)合實時調(diào)節(jié)算法， 計算出下一個單脈沖能量的設(shè)定值;最后通過能量 電壓轉(zhuǎn)換關(guān)系將能量設(shè)定值轉(zhuǎn)換成電壓設(shè)定值， 以達到控制激光器單脈沖能量并保證劑量精度的目的 。
加入交流群
掃碼添加小助手
加入工程師交流群
下載該資料的人也在下載
下載該資料的人還在閱讀
更多 >
- 智能流量控制器產(chǎn)品說明書
- 基于DSP TMS320C240的電壓解耦矢量控制系統(tǒng) 5次下載
- 如何使用FPGA實現(xiàn)矢量控制的高性能交流電機速度伺服控制器 9次下載
- 水利遠程流量控制器 3次下載
- X射線劑量儀與電離室探測技術(shù)的診斷劑量檢測方法 14次下載
- 基于單元串聯(lián)的無速度傳感器矢量控制算法研究_黃哲 0次下載
- 統(tǒng)一電能質(zhì)量控制器并聯(lián)側(cè)的改進雙滯環(huán)電流控制策略研究 1次下載
- SpaceWire總線的流量控制機制研究 0次下載
- 基于SVPWM的Vienna整流器矢量控制研究 22次下載
- 并聯(lián)型電能質(zhì)量控制器的SVPWM控制 15次下載
- 基于DSP的模糊PID矢量控制變頻器的研究 33次下載
- 基于DSP的數(shù)字電能質(zhì)量控制器設(shè)計 45次下載
- 多功能電量控制器的設(shè)計
- 掩模曝光劑量的精細控制工藝設(shè)計
- 基于 VSC 的并聯(lián)型電能質(zhì)量控制器控制方法的研究
- PGA4311：高性能4通道音頻音量控制器解析 84次閱讀
- 變頻器矢量控制技術(shù)的特點 2.8k次閱讀
- 矢量控制器與正弦波控制器的區(qū)別 1w次閱讀
- 深紫外光刻復雜照明光學系統(tǒng)設(shè)計 1.7k次閱讀
- 一文詳解光刻機的工作原理 31.6w次閱讀
- ASML光刻機的工作原理及關(guān)鍵技術(shù)解析 1.1w次閱讀
- 提高光刻機性能的關(guān)鍵技術(shù)及光刻機的發(fā)展情況 1.5w次閱讀
- 如何理解pcb鉆孔與紫外線的作用 3.8k次閱讀
- 氣體激光器有哪些_氣體激光器特點 1.3w次閱讀
- 靶式流量控制器結(jié)構(gòu)圖_靶式流量控制器的特點 4.1k次閱讀
- 矢量控制與V/F控制詳解 5w次閱讀
- 光刻機價格多少_還有比光刻機更貴的設(shè)備嗎 3.8w次閱讀
- 一文解析刻蝕機和光刻機的原理及區(qū)別 13.5w次閱讀
- 光刻機結(jié)構(gòu)組成及工作原理 16.7w次閱讀
- 溫度測量控制電路 3.6k次閱讀
上傳資料賺積分下載排行
本周
- 1PC0805全集成單相無刷直流電機可編程閉環(huán)驅(qū)動器英文資料
- 0.59 MB | 1次下載 | 免費
- 2變頻器維修資料大全
- 1.28 MB | 1次下載 | 4 積分
- 3HD-1二合一恒電位儀的工作原理
- 0.01 MB | 次下載 | 1 積分
- 4rk3562ddr4設(shè)計資料圖
- 0.74 MB | 次下載 | 2 積分
- 5SQ33239 CPC8 ZVS 反激同步整流技術(shù)手冊
- 1.62 MB | 次下載 | 免費
- 6變頻器維修入門
- 1.08 MB | 次下載 | 4 積分
- 7SY5231 次級側(cè)同步整流技術(shù)手冊
- 0.89 MB | 次下載 | 免費
- 8LT3580 升壓/反相DC/DC 帶2A開關(guān)的轉(zhuǎn)換器技術(shù)手冊
- 0.46 MB | 次下載 | 免費
本月
- 1EMC PCB設(shè)計總結(jié)
- 0.33 MB | 10次下載 | 免費
- 2耗盡型MOS FET產(chǎn)品目錄選型表
- 0.14 MB | 4次下載 | 免費
- 3PD取電芯片 ECP5702規(guī)格書
- 0.88 MB | 4次下載 | 免費
- 4九陽JYCP-21ZD-A主控板電路圖資料
- 2.33 MB | 2次下載 | 10 積分
- 5氮化鎵GaN FET/GaN HEMT 功率驅(qū)動電路選型表
- 0.10 MB | 2次下載 | 免費
- 6TI系列-米爾TI AM62L核心板開發(fā)板-高能效低功耗嵌入式平臺
- 1.51 MB | 1次下載 | 免費
- 7PD取電芯片，可取5/9/12/15/20V電壓ECP5702數(shù)據(jù)手冊
- 0.88 MB | 1次下載 | 免費
- 8飛騰S5000C-64雙路服務(wù)器系列應(yīng)用宣傳冊--一乘科技
- 945.81 KB | 1次下載 | 免費
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935137次下載 | 10 積分
- 2開源硬件-PMP21529.1-4 開關(guān)降壓/升壓雙向直流/直流轉(zhuǎn)換器 PCB layout 設(shè)計
- 1.48MB | 420064次下載 | 10 積分
- 3Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233095次下載 | 10 積分
- 4電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
- 340992 | 191464次下載 | 10 積分
- 5十天學會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183360次下載 | 10 積分
- 6labview8.5下載
- 未知 | 81606次下載 | 10 積分
- 7Keil工具MDK-Arm免費下載
- 0.02 MB | 73832次下載 | 10 積分
- 8LabVIEW 8.6下載
- 未知 | 65991次下載 | 10 積分
工商網(wǎng)監(jiān)
評論