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為了闡釋空氣靜壓導軌氣膜間隙處在微小尺度所體現(xiàn)的特性，引入努森數(shù)（ Kn），計算了不同工況下氣膜內(nèi)壓力和不同氣膜厚度下Kn數(shù)的變化關系。引入支撐區(qū)氣膜分層假設，與分子動力學相結合，對氣膜內(nèi)不同流態(tài)層的剛度進行了實驗和分析。通過ANSYS仿真和實驗數(shù)據(jù)相結合得出了結論：氣膜內(nèi)稀薄效應的增強，可以一定程度上提高氣浮支撐的靜承載能力。氣浮支撐的剛度特性和氣膜內(nèi)部分層情況有關：以分子碰撞運動為主的稀薄層主要起容性效應，實現(xiàn)分子間動量的傳遞和轉化，因此該層所體現(xiàn)出來的剛度較差；以慣性力驅動的連續(xù)流層內(nèi)部分子運動比較穩(wěn)定，特別是在垂直方向不存在顯著的動能和壓力能之間的轉化，因此該層的剛度特性較強。實驗證明，氣膜厚度在1 - 10 um時，氣膜的剛度先增大后減小，也間接論證了靜壓支撐的剛度特性主要由氣膜內(nèi)連續(xù)流層決定。
靜壓
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