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為了提高小流量電液伺服閥疊合量的測(cè)量效率，實(shí)現(xiàn)疊合量氣動(dòng)測(cè)量過(guò)程的自動(dòng)化，分析了電液伺服閥疊合量氣動(dòng)測(cè)量方法的原理及特點(diǎn)，采用壓力式和流量式氣動(dòng)測(cè)量方法實(shí)現(xiàn)閥芯自動(dòng)對(duì)中和疊合量自動(dòng)精確測(cè)量。從機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和控制系統(tǒng)方案上提出了自動(dòng)化策略，研制了一套小流量電液伺服閥疊合量氣動(dòng)測(cè)量臺(tái)，實(shí)現(xiàn)疊合量高精度測(cè)量的全過(guò)程自動(dòng)化。通過(guò)實(shí)驗(yàn)和工程實(shí)踐驗(yàn)證，該測(cè)量臺(tái)的疊合量測(cè)量精度達(dá)到±0.5 um，且重復(fù)精度達(dá)到±0.5 um。
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