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論述了多晶硅高溫壓力傳感器小型化固態(tài)隔離封裝技術(shù)、靜電鍵合技術(shù)、不銹鋼膜片的選擇及波紋設(shè)計(jì)技術(shù)、激光焊接技術(shù)、硅油充灌和硅油隔離技術(shù)等。以不銹鋼膜片和高溫硅油為隔離材料，使傳感器的封裝直徑縮小到15 mm，在1 mA電流激勵下傳感器滿量程輸出為72 mV，零點(diǎn)穩(wěn)定性為0.48％F.S/mon，提高了傳感器的可靠性，拓寬了傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域。
關(guān) 鍵 詞 高溫; 壓力傳感器; 靜電鍵合; 固態(tài)隔離; 封裝; 硅油充灌
關(guān) 鍵 詞 高溫; 壓力傳感器; 靜電鍵合; 固態(tài)隔離; 封裝; 硅油充灌
傳感器
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