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氣體傳感器日漸發(fā)展，其應(yīng)用的范圍越來(lái)越廣，特別是在環(huán)境質(zhì)量檢測(cè)和工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程安全檢測(cè)、保障人民的生命安全等方面越加廣泛。簡(jiǎn)要介紹了各種氣體傳感器的工作原理，并對(duì)常見(jiàn)幾種有毒性氣體（一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫及氮化物）和可燃性氣體（氫氣、甲烷）的各種類(lèi)型傳感器的研究進(jìn)展和工作機(jī)理以及敏感材料進(jìn)行了介紹，同時(shí)對(duì)MEMS 工藝制作氣體傳感器進(jìn)行了展望。
傳感器
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