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對(duì)微機(jī)械慣性傳感器微加速度計(jì)和微陀螺的技術(shù)現(xiàn)狀進(jìn)行了評(píng)述，根據(jù)其不同的技術(shù)實(shí)現(xiàn)，諸如制造過程工
作原理，控制系統(tǒng)，接口技術(shù)等對(duì)其進(jìn)行了分類描述，這些微傳感器的用途很廣，而且相對(duì)于其傳統(tǒng)器件來說有低成本。小尺寸&低功耗等特點(diǎn)，正在全世界范圍內(nèi)被廣泛研究，最后對(duì)微機(jī)械傳感器領(lǐng)域的一些新的進(jìn)展進(jìn)行了討論并提出
了展望。
作原理，控制系統(tǒng)，接口技術(shù)等對(duì)其進(jìn)行了分類描述，這些微傳感器的用途很廣，而且相對(duì)于其傳統(tǒng)器件來說有低成本。小尺寸&低功耗等特點(diǎn)，正在全世界范圍內(nèi)被廣泛研究，最后對(duì)微機(jī)械傳感器領(lǐng)域的一些新的進(jìn)展進(jìn)行了討論并提出
了展望。
微機(jī)械
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