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淺談晶圓檢測整體流程及檢測目的

454398 ? 來源:big-bit ? 作者:big-bit ? 2021-03-24 14:57 ? 次閱讀
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晶圓檢測是對芯片上的每一個晶顆粒體開展針測,在檢驗(yàn)頭裝上金線制作而成細(xì)如毛發(fā)之探頭針(probe),與晶顆粒體上的觸點(diǎn)(pad)觸碰,檢測其電氣特性,不過關(guān)的晶顆粒體會被標(biāo)出來標(biāo)記,然后當(dāng)芯片根據(jù)晶顆粒體為單位切成單獨(dú)的晶顆粒體時,標(biāo)著標(biāo)記的不過關(guān)晶顆粒體會被淘汰,不會再開展下一個制造,以減少不比較的制造成本。

晶圓制造完成以后,晶圓檢測是一步十分關(guān)鍵的檢測。這步檢測是晶圓生產(chǎn)過程的成績表。在檢測全過程中,每一個芯片的電荷工作能力和電源電路功能都被檢驗(yàn)到。晶圓檢測也就是芯片檢測(die sort)或晶圓電測(wafer sort)。

在檢測時,晶圓被固定不動在真空泵吸附力的卡盤上,并與如同細(xì)如毛發(fā)薄的探頭針電測器指向,與去同時探頭針與芯片的每一個電焊焊接墊相觸碰。電測器在電源驅(qū)動器下檢測電源電路并紀(jì)錄下結(jié)果。檢測的總數(shù)、順序和種類由電子計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制。測試機(jī)是自動化技術(shù)的,因此在探頭針電測器與第一片晶圓對準(zhǔn)后(人力指向或應(yīng)用全自動視覺識別系統(tǒng))的檢測工作中不必操作工的輔助。

檢測是為了以下三個總體目標(biāo)。第一,將能夠分辨出晶圓的是否合格并將合格的晶圓送至封裝加工廠。第二,對元器件/電路的主要參數(shù)進(jìn)行特性專業(yè)性的評估。技術(shù)工程師們必須檢測主要參數(shù)的遍布狀況來保持加工工藝的品質(zhì)水準(zhǔn)。第三,對芯片的合格品與欠佳品的統(tǒng)計(jì)會給晶圓生產(chǎn)制造工作人員提供全方位業(yè)績的反饋。達(dá)標(biāo)芯片與欠佳品在晶圓上的部位在電子計(jì)算機(jī)上以晶圓圖的方式記下來。過去的老式技術(shù)性在欠佳品芯片上涂下一墨點(diǎn)。

晶圓檢測是主要的芯片產(chǎn)品合格率統(tǒng)計(jì)分析方法之一。伴隨著芯片的總面積擴(kuò)大和相對密度提升促使晶圓檢測的花費(fèi)越來越大。這樣一來,芯片必須更長的檢測時間及其更為高精密繁雜的電源、機(jī)械設(shè)備和計(jì)算機(jī)系統(tǒng)來實(shí)行檢測工作中和監(jiān)管檢測結(jié)果。視覺效果查驗(yàn)系統(tǒng)也是伴隨著芯片尺寸擴(kuò)大而更為高精密和價格昂貴。芯片的設(shè)計(jì)工作人員被要求將測試模式引進(jìn)存儲陣列。檢測的設(shè)計(jì)工作人員在探尋如何把測試步驟更為簡單化而合理,比如在芯參片主要數(shù)評定達(dá)標(biāo)后應(yīng)用簡單化的測試代碼,此外還可以逐行檢測晶圓上的芯片,或是同時開展好幾個芯片的檢測。

編輯:hfy

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