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90nm光刻機能生產(chǎn)什么的芯片

h1654155282.3538 ? 來源:網(wǎng)絡整理 ? 作者:佚名 ? 2022-06-30 09:46 ? 次閱讀
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光刻機是制作芯片的關鍵設備,利用光刻機發(fā)出的紫外光源通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的硅片曝光,使光刻膠性質(zhì)變化、達到圖形刻印在硅片上形成電子線路圖。我國目前還是采用什深紫外光的193nm制程工藝,如上海微電子裝備公司(CMEE)制程90nm工藝的光刻機,那么90nm光刻機能生產(chǎn)什么芯片呢?

90nm除了可以生產(chǎn)90nm制程的芯片外,如果曝光兩次就可以得到45nm的芯片,如果曝光三次就可以達到22nm芯片的水平。總的來說,曝光的次數(shù)越多芯片的nm越小,但是良品率會降低,所以一般都控制在28nm和32nm。

相較于荷蘭、美國、德國這些國家,我國的芯片制造還是不具優(yōu)勢的,但是我國直接從90nm突破到22nm意味著我國的光刻機制造的一些關鍵核心領域已經(jīng)實現(xiàn)了國產(chǎn)化,國產(chǎn)光刻機突破封鎖,正在崛起。

審核編輯:chenchen

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