剛剛（11月25日下午），上海證券交易所發(fā)布審議公告，紹興中芯集成電路制造股份有限公司(下稱“中芯集成”)成功過會！中芯集成IPO成功，成為中國MEMS產(chǎn)業(yè)標志性事件之一！中芯集成本次上市備受各方矚目，主要因為其市場地位超然，并且與中國芯片巨頭——中芯國際有著非常深的關(guān)系，可以說沒有中芯國際，就沒有中芯集成，因此也存在專利授權(quán)、同業(yè)競爭等問題。
中芯集成是中國大陸目規(guī)模最大、技術(shù)最先進的 MEMS 晶圓代工廠，本次募集資金達到125億元，將是中國MEMS制造產(chǎn)業(yè)慕資規(guī)模最大的項目！本文引用數(shù)據(jù)主要來自中芯集成招股書，如需該資料，可在傳感器專家網(wǎng)微信公眾號對話框回復關(guān)鍵詞【中芯集成招股書】獲取。

歷時148天成功過會！募資125億元，科創(chuàng)板史上TOP 3，中國MEMS制造產(chǎn)業(yè)慕資規(guī)模最大的項目！剛才，上海證券交易所科創(chuàng)板上市委發(fā)布了2022年第 98 次審議會議結(jié)果公告，認為紹興中芯集成電路制造股份有限公司（首發(fā)）：符合發(fā)行條件、上市條件和信息披露要求。這意味著，中芯集成已經(jīng)等上了中國A股市場，接下來只要進行注冊發(fā)行，我們就可以購買到中芯集成的股票了。從6月30日提交上交所審核，到今日（11月25日）過會，歷時148天，這家中國國內(nèi)規(guī)模最大的MEMS晶圓代工廠終于踏上了中國A股！

▲來源：上海證券交易所在上市審議中，上交所上市委員會對中芯集成盈利狀況、未與同行業(yè)可比公司同步布局 12 英寸產(chǎn)線的影響、中芯國際同業(yè)競爭等問題進行了問詢。

▲來源：上海證券交易所

值得關(guān)注的是，本次中芯集成募資達到125億元，這是科創(chuàng)板創(chuàng)設(shè)以來非常罕見的巨額慕資項目。

根據(jù)中芯集成發(fā)行招股書披露，本次IPO擬向社會公開發(fā)行不超過 169,200.00 萬股股份（16.92億股），募集金額達125億元，而項目總投資金額更是高達219.04億元，這也是科創(chuàng)板創(chuàng)設(shè)以來罕見的百億募資項目。

本次募集資金將投入項目“MEMS和功率器件芯片制造及封裝測試生存基地技術(shù)改造項目”，募集資金15億元；“二期晶圓制造項目”，募集資金66.6億元，以及“補充流動資金”，募集資金43.4億元。

▲中芯集成募集資金用途（來源：中芯集成招股書）

慕資125億是什么概念？中國半導體史上僅次于中芯國際！

今年6月13日以來，科創(chuàng)板開市3周年，共計428家上市公司，累計IPO募集資金約6111億元，總市值約5.11萬億元。

從IPO募資來看，整個科創(chuàng)板僅有四家公司募資上百億元，分別是：中芯國際、百濟神州、中國通號、晶科能源。其中，中芯國際擬慕資200億元，百濟神州擬慕資221億元，中國通號擬慕資105.3億元，晶科能源擬慕資100億元。

因此，本次中芯集成慕資125億元，在整個科創(chuàng)板可排TOP 3 了，僅次于百濟神州和中芯國際，也是中國MEMS制造產(chǎn)業(yè)慕資規(guī)模最大的項目。

在中國半導體領(lǐng)域，這個募資金額更是僅次于中芯國際，是中國半導體史上少數(shù)募資超百億的IPO。

▲來源：集微網(wǎng)

中芯集成年均符合增長率達173%，晶圓產(chǎn)能增長迅速，2022上半年已超62萬片！

中芯集成是國內(nèi)領(lǐng)先的特色工藝晶圓代工企業(yè)，主要從事 MEMS 和功率器件等領(lǐng)域的晶圓代工及模組封測業(yè)務。

根據(jù)中芯集成招股書披露，2019、2020、2021年度及2022上半年，其營業(yè)收入分別為26,976.93萬元、73,915.55萬元、202,393.6萬元、203,063.14萬元，最近三年營業(yè)收入年均復合增長率達到 173.91%，晶圓年產(chǎn)能分別為 24.45 萬片、39.29 萬片、89.80 萬片及 62.46 萬片（2022上半年），呈現(xiàn)快速增長趨勢。

▲中芯集成主要財務指標（來源：中芯集成招股書）

從業(yè)務收入結(jié)構(gòu)來看，中芯集成營業(yè)收入近90%來自晶圓代工業(yè)務。其中，晶圓代工主要分為MEMS和功率器件兩部分。

MEMS晶圓代工業(yè)務2019、2020、2021年度及2022上半年營收分別為6442.2萬元、23063.97萬元、39853.96萬元、15,332.40萬元，前3 年內(nèi)MEMS晶圓代工業(yè)務平均占總晶圓代工業(yè)務的比例為25%。

▲中芯集成業(yè)務構(gòu)成（來源：中芯集成招股書）

中芯集成在中國傳感領(lǐng)域的超然地位：MEMS晶圓年銷量85000+片，中國大陸本土規(guī)模最大產(chǎn)線

根據(jù) Chip Insights 發(fā)布的《2021 年全球?qū)倬A代工排行榜》，中芯集成的營業(yè)收入排名全球第十五，中國大陸第五。

具體到MEMS晶圓代工制造業(yè)務，根據(jù)賽迪顧問發(fā)布的《2020 年中國 MEMS 制造白皮書》，中芯集成在營收能力、品牌知名度、制造能力、產(chǎn)品能力四個維度的綜合能力在中國大陸 MEMS 代工廠中排名第一。（如下圖，浙江XX公司即為中芯集成）

▲中國MEMS制造指數(shù)，來源：賽迪顧問《2020年中國MEMS制造白皮書》

截止2022年6月，中芯集成晶圓代工月均產(chǎn)能達到10萬片，2019、2020、2021年及2022上半年，主營業(yè)務晶圓產(chǎn)量分別為135551片、318340片、838310片及573676片，產(chǎn)銷量均達到90%以上。

▲MEMS&功率半導體器件晶圓產(chǎn)量數(shù)據(jù)（來源：中芯集成招股書）

細分到MEMS晶圓代工方面，中芯集成MEMS晶圓代工2019、2020、2021年度及2022上半年銷量分別為18421片、62617片、85019片、35838片。

▲MEMS細分晶圓產(chǎn)量數(shù)據(jù)（來源：中芯集成招股書）

對比中國另一家純MEMS晶圓代工企業(yè)賽微電子，賽微電子是中國&全球MEMS代工營收最高的企業(yè)，但其主要營收來自于旗下全資子公司Silex Microsystems AB，產(chǎn)線位于瑞典。

賽微電子中國境內(nèi)的北京8英寸MEMS產(chǎn)線（FAB3）規(guī)劃年產(chǎn)能30,000片，但目前利用率僅14.07%，仍處于產(chǎn)能爬坡階段。

▲賽微電子MEMS產(chǎn)能數(shù)據(jù)（來自賽微電子2021年報）

因此，在中國大陸本土，中芯集成是規(guī)模最大、營收最高的MEMS晶圓代工廠。

成長迅速，虧損縮小，毛利率提升到-2.57%，產(chǎn)能利用率超90%，2026年盈利

從中芯集成的財務報表中，我們可以看到是晶圓制造是一個成長非常迅速，但卻又非?！盁X”的產(chǎn)業(yè)。

由于成立時間較短、生產(chǎn)尚未形成規(guī)模效應，加之前期制造設(shè)備所需要的長周期巨額攤銷，中芯集成的業(yè)績?nèi)栽诓粩嗵潛p中——2019年至2022上半年，中芯集成的營業(yè)收入分別為2.70億元、7.39億元、20.24億元和20.31億元，同期歸母凈利潤分別為-7.72億元、-13.66億元、-12.36億元和-5.73億元。

然而因為晶圓代工產(chǎn)業(yè)的快速成長，規(guī)模化效應逐步顯現(xiàn)，中芯集成在2019-2022上半年的主營業(yè)務毛利率分別-185.79%、-96.08%、-16.76%及-2.57%，呈快速減少趨勢。

▲中芯集成毛利率等財務數(shù)據(jù)（來源：中芯集成招股書）

其中，MEMS晶圓代工方面，2019-2021年度毛利率為-293.37%、-45.20%、-0.23%，大幅上升，主要系單位成本快速下降，以及 2021 年單位價格上升較多所致。

但2022上半年，MEMS毛利率下降到-15.04%，主要受消費電子行業(yè)市場景氣度影響，公司部分 MEMS 產(chǎn)品銷售價格下降，同時產(chǎn)銷量減少使得單位成本上升。

▲MEMS晶圓代工細分財務數(shù)據(jù)（來源：中芯集成招股書）

而中芯集成另一主要晶圓代工業(yè)務，功率器件毛利率呈現(xiàn)快速改善趨勢，2022上半年毛利率更是提高到-0.03%，離盈利一步之遙。主要是2020 年下半年以來，受電動車市場等影響，IGBT等功率器件市場景氣度較高，公司根據(jù)市場行情調(diào)高價格，2021 年以來，公司功率器件單位價格呈現(xiàn)上升趨勢。

截止2021年度，中芯集成現(xiàn)有產(chǎn)線產(chǎn)能利用率已達90%以上，2019-2021上半，產(chǎn)能利用率分別為55.44%、81.03%、93.36%及91.84%，可以看到中芯集成的晶圓代工產(chǎn)能一直處于快速爬坡狀態(tài)，且目前產(chǎn)能接近飽和。

▲MEMS&功率半導體器件晶圓產(chǎn)能數(shù)據(jù)（來源：中芯集成招股書）

隨著中芯集成現(xiàn)有晶圓產(chǎn)線產(chǎn)能爬坡結(jié)束，其芯片代工規(guī)模化效應顯現(xiàn)，現(xiàn)有產(chǎn)線將逐步產(chǎn)生盈利。

根據(jù)中芯集成的測算，預計公司一期晶圓制造項目（含封裝測試產(chǎn)線）整體在2023 年 10 月首次實現(xiàn)盈虧平衡，預計公司二期晶圓制造項目于 2025 年 10 月首次實現(xiàn)盈虧平衡，在公司不進行其他資本性投入增加生產(chǎn)線的前提下，則預計公司 2026 年可實現(xiàn)盈利。

2021年度產(chǎn)能利用率已達93%，因此中芯國際選擇在這個時候進行科創(chuàng)板IPO，計劃募集資金125億。

其中，“MEMS 和功率器件芯片制造及封裝測試生產(chǎn)基地技術(shù)改造項目”將擴 展公司現(xiàn)有的 MEMS 和功率器件生產(chǎn)線，提升公司的生產(chǎn)能力，并提高公司的工藝水平。

另外，“二期晶圓制造項目”擬使用募集資金投入 66.60 億元，將建成一條月產(chǎn) 7 萬片的硅基 8 英寸晶圓加工生產(chǎn)線，進一步提升公司 8 英寸 MEMS 和功率器件的代工產(chǎn)能。

也即是說，中芯集成未來的MEMS晶圓代工產(chǎn)能在現(xiàn)有基礎(chǔ)上，仍有提升空間。

中芯集成幕后：中芯國際全力扶持，存在專利授權(quán)、同業(yè)競爭憂慮

2018年3月，由中芯國際（中芯控股）、紹興市政府（越城基金）、盛洋集團共同出資設(shè)立中芯集成電路制造（紹興）有限公司。

同年5月，總投資58.8億元的中芯集成電路制造（紹興）項目開工奠基，該項目用地207.6畝，新建14.65萬平米的廠房，建設(shè)一條集成電路8寸芯片制造生產(chǎn)線和一條模組封裝生產(chǎn)線。

截止2021年12月，中芯集成一期8英寸晶圓月產(chǎn)能已達10萬片，達成規(guī)劃目標。

中芯集成的建設(shè)，受到中芯國際的全力支持和孵化。

根據(jù)中芯集成招股書披露，截止申報前，越城基金控股22.70%，中芯國際的中芯控股持股19.57%，為最大的兩家股東。

中芯集成吸引了眾多私募股權(quán)投資機構(gòu)的入伙，在中芯集成的30名股東中，有25名股東屬于私募股權(quán)投資機構(gòu)，合計持股比例高達68.44%，而這些機構(gòu)的背后更是蟄伏著數(shù)家上市公司、知名的產(chǎn)業(yè)基金等。

▲中芯集成股權(quán)結(jié)構(gòu)（來源：中芯國際招股書）

中芯集成成立至今才4年多時間，卻獲得了這么快速的發(fā)展，與第二大股東中芯國際的全力支持密不可分。

中芯集成在微機電以及功率器件領(lǐng)域（MEMS&MOSFET&IGBT）所擁有的573項專利和31項非專利技術(shù)，均來自中芯國際的授權(quán)。

▲中芯集成專利授權(quán)情況（來源：中芯國際招股書）

并且，該協(xié)議非?！皟?yōu)厚”，據(jù)授權(quán)協(xié)議安排，自2018年3月中芯集成設(shè)立起，中芯國際在中國大陸內(nèi)持股比例超過50%的控股子公司，均不再開展與其授權(quán)中芯集成專利所涉足的業(yè)務。

也即是說，中芯國際在中國大陸境內(nèi)的相關(guān)MEMS和功率器件的制造業(yè)務，全部拱手讓給中芯集成去做，在中國大陸境內(nèi)不構(gòu)成競爭關(guān)系。

同時，該授權(quán)協(xié)議周期為“三年一簽”，期間除非出現(xiàn)中芯集成破產(chǎn)等特殊事件才會終止。

可見，中芯集成得到了中芯國際不遺余力的扶持。

中芯集成回應與中芯國際同業(yè)競爭、專利授權(quán)問題

正因為中芯集成和中芯國際間有這么密切的關(guān)系，許多MEMS、IGBT功率器件專利都直接來自中芯國際，而中芯集成與中芯國際的限制競爭條款于 2024 年 3 月20 日到期后不再續(xù)期，因此同業(yè)競爭和專利授權(quán)等問題成為上交所上市委問詢的關(guān)鍵問題之一。

在中芯集成之前回復上交所第二輪問詢函中，回應了相關(guān)問題。

中芯國際專利授權(quán)方面

根據(jù)中芯集成問詢函披露，其許可技術(shù)平臺，如 MEMS 麥克風一代、溝槽型場截止 IGBT 一代、屏蔽柵溝槽型 MOSFET 一代等，主要面向消費電子和工業(yè)電子領(lǐng)域，代工產(chǎn)品更多應用于較為基礎(chǔ)的產(chǎn)品類型，市場競爭較為激烈。

中芯集成的自研技術(shù)平臺，是基于市場發(fā)展趨勢及客戶需求升級而搭建的，包括第二代、第三代技術(shù)平臺，以及車載 IGBT、高壓 IGBT、深溝槽超結(jié) MOSFET等中高端技術(shù)平臺，未來中高端產(chǎn)品需求旺盛。

截至2022年6月30日，中芯集成發(fā)行人主營業(yè)務在手訂單金額合計111,742.20萬元，其中許可技術(shù)、自研技術(shù)在手訂單分別為 23,398.99 萬元、88,343.21 萬元，占在手訂單比例分別為 20.94%、79.06%，未來許可技術(shù)的收入占比將進一步下降。

▲中芯集成自研與來自中芯國際專利授權(quán)情況對比（來源：中芯集成回復上交所問詢函）

與中芯國際同業(yè)競爭方面

中芯集成初期MEMS和IGBT等專利來自于中芯國際，同時，為了扶持中芯集成，早期中芯國際與中芯集成簽有限制競爭條款，但到期后將不續(xù)簽，因此存在與中芯國際的同業(yè)競爭關(guān)系。

中芯集成在回復函中披露，發(fā)行人與中芯國際在消費電子領(lǐng)域（含智能手機、智能家居）存在重疊，重疊應用領(lǐng)域收入占發(fā)行人全部晶圓代工收入比例為 59.15%，占中芯國際全部晶圓代工收入比例為 65.50%。

但是，發(fā)行人與中芯國際在重疊應用領(lǐng)域制造的產(chǎn)品存在顯著差異。以智能

手機領(lǐng)域為例，發(fā)行人制造的產(chǎn)品包括 MEMS 麥克風芯片、射頻濾波器、用于鋰電池保護的 MOSFET 器件等，而中芯國際制造的產(chǎn)品包括處理器芯片、存儲芯片、圖像傳感器芯片等。發(fā)行人與中芯國際制造的產(chǎn)品屬于智能手機中的不同功能芯片。

因此，發(fā)行人與中芯國際的下游應用領(lǐng)域雖然存在部分重疊，但是發(fā)行人與

中芯國際制造的產(chǎn)品屬于不同類型的部件，存在顯著差異，不具有替代性、競爭性，發(fā)行人與中芯國際不存在利益沖突。

此外，二者的客戶重疊度較低，可見下表數(shù)據(jù)統(tǒng)計信息。

▲中芯集成與中芯國際同業(yè)競爭情況（來源：中芯集成回復上交所問詢函）

中芯集成MEMS產(chǎn)線情況：涵蓋四大類傳感器

中芯集成擁有國內(nèi)規(guī)模最大、技術(shù)最先進的 MEMS 晶圓代工廠，牽頭承擔了國家科技部十四五規(guī)劃重點專項“MEMS 傳感器批量制造平臺”項目。

其具備體硅和表面硅工藝能力，針對主流應用開發(fā)了標準化成套制造工藝，重點研究攻 克了高精度膜層沉積/生長、高強度鍵合技術(shù)、高兼容度的敏感元件低溫工藝、 無損集成器件的 MEMS 犧牲層釋放技術(shù)等一系列共性關(guān)鍵技術(shù)。

目前，中芯集成的 MEMS 產(chǎn)品已廣泛進入了通訊類和消費類應用，多項先進車載傳感器進入了新能源汽車供應鏈。公司的 MEMS 工藝平臺布局完整，覆蓋了主流商業(yè)化產(chǎn)品應用和車載應用，現(xiàn)主要涵蓋四大類，包括 MEMS 麥克風傳感器、慣性傳感器、射頻器件、壓力傳感器。

①MEMS麥克風傳感器

MEMS 麥克風傳感器是基于 MEMS 技術(shù)制造的麥克風，它采用表貼工藝進 行制造，具有更好的噪聲消除性能。公司已經(jīng)實現(xiàn)硅基麥克風傳感器的大規(guī)模量 產(chǎn)，技術(shù)水平進入國際第一梯隊，客戶群體覆蓋全球頭部消費類手機品牌，產(chǎn)品應用范圍從手機市場延伸到智能語音家電市場。

②慣性傳感器

慣性傳感器是對物理運動做出反應的器件，如線性位移或角度旋轉(zhuǎn)，并將這種反應轉(zhuǎn)換成電信號，通過電子電路進行放大和處理。目前公司已經(jīng)實現(xiàn) MEMS 加速度計傳感器的量產(chǎn)。公司也同步開發(fā)高精度 MEMS 慣性產(chǎn)品的工藝平臺， 產(chǎn)品應用于無人機和車載電子領(lǐng)域。

③射頻器件

射頻器件主要用于手機和通信基站，它能夠?qū)⑸漕l信號和數(shù)字信號進行轉(zhuǎn)化， 來實現(xiàn)通信功能。公司率先在 4G、5G 多個頻段的高頻濾波器芯片制造工藝方面和集成系統(tǒng)模組取得突破，實現(xiàn)了高良率、高可靠性的大規(guī)模量產(chǎn)，制造的產(chǎn)品性能國內(nèi)領(lǐng)先，進入了主流移動通訊市場。

④壓力傳感器

壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號處理單元組成。按不同的測試壓力類 型，壓力傳感器可分為絕壓式和差壓式兩種。目前公司生產(chǎn)和研發(fā)的壓力傳感器 涵蓋上述兩種類型，產(chǎn)品應用于汽車電子、消費電子、工業(yè)控制以及醫(yī)療等領(lǐng)域。

功率器件等其他晶圓代工情況：中國車規(guī)級功率芯片主要供應商

毫無疑問，從全球范圍內(nèi)看，MEMS具有更廣闊的市場前景和發(fā)展空間。根據(jù)著名半導體產(chǎn)業(yè)咨詢公司Yole的統(tǒng)計：

2020 年全球 MEMS 行業(yè)市場規(guī)模為 120 億美元，預計2026年市場規(guī)模將達到 183 億美元，2020-2026 年均復合增長率為 7.3%；2020 年全球IGBT 市場規(guī)模為 54 億美元，預計 2026 年市場規(guī)模將達到 84 億美元，2020-2026年均復合增長率為 7.6%；2020 年全球 MOSFET 市場規(guī)模為 76 億美元，預計 2026年市場規(guī)模將達到 95 億美元，2020-2026 年均復合增長率為 3.8%，MEMS、IGBT、MOSFET 市場規(guī)模均呈穩(wěn)步增長趨勢。

顯然，MEMS行業(yè)市場規(guī)模和增速都非常高，2020年為120億美元，IGBT為54億美元，MOSFET為76億美元。無論是當前市場規(guī)模，還是5年成長規(guī)模，MEMS都是最大的市場。

但是受限于國內(nèi)目前MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)的羸弱，下游市場需求少，因此反映到中芯集成的營業(yè)收入中，MEMS近三年內(nèi)營收平均只占總晶圓代工業(yè)務的25%，其余75%為IGBT、MOSFET等功率器件。

目前，中芯集成除了是國內(nèi)規(guī)模最大的MEMS晶圓代工廠外，也是中國少數(shù)能夠提供車規(guī)級IGBT芯片的晶圓代工企業(yè)之一。同時，中芯集成正在進行碳化硅、氮化鎵等寬禁帶半導體的工藝研發(fā)。

在功率器件方面，2019、2020、2021年及2022上半年，中芯集成的晶圓代工收入分別為1.77億元、3.94億元、14.47億元及12.62億元，占比分別為67.54%、54.30%、72.21%及81.73%?？梢哉f是中芯集成主要營收來源。

▲中芯集成功率器件業(yè)務營收數(shù)據(jù)（來源：中芯國際招股書）

從目前本土企業(yè)的產(chǎn)業(yè)鏈布局來看，對比企業(yè)時代電氣和比亞迪半導體均已實現(xiàn)IDM的一體化模式，對IGBT芯片設(shè)計到最下游的電控系統(tǒng)均有所布局。

中芯集成則與華虹半導體的模式比較類似，僅從事純粹的IGBT代工。不過和華虹半導體比起來，中芯集成在IGBT的制程尺寸工藝上仍然有一定差距。

目前華虹半導體已與斯達半導體聯(lián)手實現(xiàn)12英寸車規(guī)級IGBT量產(chǎn)，并且相關(guān)產(chǎn)能還在持續(xù)擴張。

而中芯集成當前代工制程仍以8英寸為主，出于企業(yè)戰(zhàn)略考慮，此次IPO慕資建設(shè)的二期產(chǎn)線，也將會是8英寸晶圓產(chǎn)線。

結(jié)語

中芯集成本次IPO過會，意味著中國傳感&半導體產(chǎn)業(yè)又一標志性融資事件誕生，對整個產(chǎn)業(yè)具有提振意義。

中芯集成本質(zhì)上是中芯國際的MEMS和功率器件項目，成立4年多來，得益于中芯國際的扶持和中國芯片產(chǎn)業(yè)需求前所未有的旺盛，中芯集成成長迅速。同時，未來也存在專利授權(quán)、同業(yè)競爭等問題需要面對。

如今，中芯集成已經(jīng)成為中國大陸本土MEMS晶圓生產(chǎn)規(guī)模最大的企業(yè)。

然而，雖然從全球范圍上看MEMS器件前景最為廣闊，但受累于國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)的羸弱，下游企業(yè)需求相對較少，因此中芯集成目前MEMS晶圓代工業(yè)務僅占25%左右。

但無疑，伴隨國內(nèi) MEMS 及功率器件行業(yè)進口替代的發(fā)展趨勢，未來國內(nèi) MEMS 和功率器件行業(yè)規(guī)模將繼續(xù)保持增長，而MEMS器件在中芯集成的晶圓代工比例也將進一步提高。

本文引用數(shù)據(jù)主要來自中芯集成招股書，如需該資料，可在傳感器專家網(wǎng)微信公眾號對話框回復關(guān)鍵詞【中芯集成招股書】獲取。

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審核編輯黃昊宇