***是芯片智造的核心設(shè)備之一,也是當(dāng)下尤為復(fù)雜的精密儀器之一。正因?yàn)榇?,荷蘭***智造商阿斯麥通研制的EUV***才會(huì)“千金難求”。
很多人都對(duì)***有所耳聞,但其實(shí)不同***的用途并不一樣。像上文提及的EUV***則是用于生產(chǎn)芯片的***,此外還有封裝芯片的***以及用于LED制造領(lǐng)域的投影***。
近幾年,我國(guó)本土企業(yè)在***的研制方面正一步一個(gè)腳印地穩(wěn)步前進(jìn),拿上海微電子裝備股份有限公司來(lái)說(shuō),近幾年,其先后推出了IC前道制造***SSX600系列***、IC后道先進(jìn)封裝SSB500系列***、LED制造SSB300系列***、TFT曝光SSB200系列***。
劃重點(diǎn),上海微電子裝備股份有限公司是咱同茂的合作客戶(hù),先后多次從我司購(gòu)入高性能音圈電機(jī)模組用于產(chǎn)品中,那音圈電機(jī)模組在***中具體作用是什么?音圈電機(jī)模組主要用于***掩模臺(tái)系統(tǒng),在該系統(tǒng)中音圈電機(jī)模組運(yùn)動(dòng)工況分為掃描運(yùn)動(dòng)和定位運(yùn)動(dòng),其中掃描運(yùn)動(dòng)主要完成硅片曝光處理,該運(yùn)動(dòng)對(duì)定位精度以及速度穩(wěn)定性有非常高的要求,在穩(wěn)定基礎(chǔ)上追求時(shí)間的優(yōu)化。音圈電機(jī)模組系統(tǒng)具有較低的阻尼比,是***很重要的要件。

音圈電機(jī)模組
昆山同茂電子有限公司是一家集音圈電機(jī)模組研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售為一體的高新技術(shù)企業(yè),同茂自研自產(chǎn)自銷(xiāo)的音圈電機(jī)模組均采用歐美技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和加工工藝,具備高性能、高質(zhì)量,歡迎多多關(guān)注。
審核編輯黃宇
-
光刻
+關(guān)注
關(guān)注
8文章
367瀏覽量
31396 -
音圈電機(jī)
+關(guān)注
關(guān)注
4文章
438瀏覽量
18833
發(fā)布評(píng)論請(qǐng)先 登錄
光刻技術(shù)中的掩模形貌效應(yīng)詳解
高數(shù)值孔徑投影光刻中的偏振效應(yīng)
音圈電機(jī),U型直線電機(jī)的特點(diǎn)
音圈執(zhí)行器為高端裝備注入精準(zhǔn)動(dòng)能
音圈執(zhí)行器解鎖高端制造新可能
音圈執(zhí)行器如何助力智能制造?速程精密給出高效答案
從設(shè)計(jì)到落地,音圈執(zhí)行器如何適配你的自動(dòng)化需求??
上海光機(jī)所在全息光刻研究方面取得進(jìn)展
澤攸科技 | 電子束光刻(EBL)技術(shù)介紹
全面解析直線電機(jī)模組在激光加工中的優(yōu)勢(shì)與應(yīng)用
直線滑臺(tái)模組在點(diǎn)膠機(jī)中的核心優(yōu)勢(shì)解析
探索直線電機(jī)模組實(shí)現(xiàn)高精度的四大要素
詳談X射線光刻技術(shù)
音圈電機(jī)模組在主流光刻掩模臺(tái)系統(tǒng)中的應(yīng)用
評(píng)論