隨著智能汽車和新能源等新興產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，汽車電動(dòng)化+智能化進(jìn)程也不斷加速，相應(yīng)的半導(dǎo)體用量和市場(chǎng)規(guī)模都迅猛上升。隨著產(chǎn)能的增加以及對(duì)出貨的速度要求，自動(dòng)化設(shè)備變成了一種趨勢(shì)。機(jī)械手臂、自動(dòng)搬運(yùn)車、線性滑軌、模塊自動(dòng)夾爪等自動(dòng)化設(shè)備不但廣泛應(yīng)用于各種產(chǎn)業(yè)，而且為了避免微塵粒子影響到產(chǎn)品，這些自動(dòng)化設(shè)備多半都放置在無塵室內(nèi)，但是由于其經(jīng)常與產(chǎn)品進(jìn)行近距離接觸，因此其產(chǎn)生的微塵粒子還是會(huì)對(duì)產(chǎn)品的良率產(chǎn)生非常直接的影響。

隨著半導(dǎo)體制程工藝的不斷精進(jìn)，在納米級(jí)制程水平的當(dāng)下，只要一顆微塵粒子掉落在制程或線路中，就有可能導(dǎo)致整批產(chǎn)品異常或是報(bào)廢。因此為了提高產(chǎn)品的良率，不同的制程需要放置在不同等級(jí)的無塵室內(nèi)進(jìn)行，不同的產(chǎn)業(yè)相對(duì)也需要設(shè)置不同等級(jí)的無塵室。

那么該如何評(píng)估您的自動(dòng)化設(shè)備在潔凈室中的適用性呢？

依據(jù)ISO 14644-14 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

ISO 14644的本部分規(guī)定了一種方法，用于評(píng)估潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中使用的設(shè)備（例如機(jī)械、測(cè)量設(shè)備、過程設(shè)備、組件和工具）是否適合ISO 14644-1中規(guī)定的空氣中顆粒物清潔度。粒徑范圍從0.1 μm到等于或大于5 μm。

將潔凈室通過顆粒濃度分類的空氣潔凈度與設(shè)備在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中使用的適用性聯(lián)系起來。通過在高顆粒濃度（HPC）位置或附近包含測(cè)量位置，可以反映出該應(yīng)用的預(yù)期用途。

哪些設(shè)備特別要關(guān)注發(fā)塵量?

無人搬運(yùn)車（AGV）

機(jī)械手臂（Robot ARM）

滑軌馬達(dá)模組（Linear Motor）

制程設(shè)備（Equipment）

分揀機(jī)（Sorting Machine）

包裝機(jī)（Packing Machine）

其他應(yīng)運(yùn)裝置（Others）

為什么選擇SGS

SGS半導(dǎo)體超痕量分析實(shí)驗(yàn)室專為自動(dòng)化設(shè)備在潔凈室的適用性評(píng)估

SGS提供全天候維持在ISO Class 3等級(jí)的潔凈室

SGS具備粒徑范圍從0.1 μm到等于或大于5 μm的顆粒數(shù)分析設(shè)備

SGS為您的設(shè)備量身訂制符合標(biāo)準(zhǔn)的分析規(guī)劃

SGS專業(yè)判斷您產(chǎn)品的適用等級(jí)

SGS可授予產(chǎn)品符合性證書

審核編輯 ：李倩