三坐標(biāo)測量儀和激光干涉儀不是同一類型的東西，功能完全不一樣。

首先說一下三坐標(biāo)測量儀，三坐標(biāo)測量儀主要是用來測量各類大小工件的輪廓尺寸，有固定式的，也有關(guān)節(jié)臂式的，其中移動(dòng)橋式是三坐標(biāo)最為廣泛的一種結(jié)構(gòu)形式。這種結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是開敞性好，視野開闊，上下零件方便，運(yùn)動(dòng)速度快，精度高。Mars移動(dòng)橋式三坐標(biāo)測量機(jī)配備高精度的導(dǎo)軌、測頭和控制系統(tǒng)，并結(jié)合計(jì)算機(jī)程序來自動(dòng)控制檢測流程，從而計(jì)算輸出測量結(jié)果，支持測頭更換架以及影像相機(jī)，同時(shí)支持精密轉(zhuǎn)臺(tái)等，能夠?qū)Ω鞣N零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關(guān)系進(jìn)行檢測，也可以對(duì)軟材質(zhì)或復(fù)雜零件進(jìn)行光學(xué)掃描測量。

激光干涉儀它不是測工件尺寸的，它主要是測量機(jī)床、自動(dòng)化設(shè)備的定位精度和重復(fù)定位精度，目前代表品牌是chotest。

SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)最高4m/s的測量速度，以及納米級(jí)的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/p>

SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。