2018年，南大光電和上海新陽先后宣布，投入ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，立志打破集成電路制造最為關(guān)鍵的基礎(chǔ)材料之一——高檔光刻膠材料幾乎完全依賴于進(jìn)口的局面，填補(bǔ)國內(nèi)高端光刻膠材料產(chǎn)品的空白。

顯然，南大光電和上海新陽初入光刻膠領(lǐng)域，無法以一己之力打破技術(shù)壁壘。于是，南大光電選擇與北京科華合作，上海新陽與鄧海博士技術(shù)團(tuán)隊(duì)合作，力求共贏。

入股三年，共贏成了“雙輸”

彼時(shí)，南大光電是國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體用光刻膠供應(yīng)商北京科華的二股東。2015年9月，南大光電入股北京科華并對外宣稱，雙方將共同開展193nm光刻膠的研究與產(chǎn)品開發(fā)。

不過，雙方的合作遲遲沒有進(jìn)展，直到2018年12月，南大光電宣布使用部分超募資金投資“ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目。項(xiàng)目風(fēng)風(fēng)火火地進(jìn)行，南大光電組建了自身的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，并沒有北京科華的身影。

據(jù)知情人士稱，南大光電收購北京科華后一直存在后續(xù)有效管理問題，根本無法控制北京科華。

2019年1月，南大光電對外宣布轉(zhuǎn)讓北京科華全部股權(quán)。入股三年，南大光電獲得了不錯(cuò)的投資收益，但雙方并未能合力發(fā)展193nm光刻膠。

2015至2019年，國內(nèi)面板產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)獲得到了飛速發(fā)展，但南大光電、北京科華在光刻膠方面卻顯得有些停滯不前，雙方在其中付出的時(shí)間成本，對本身都是一種傷害。

上海新陽光刻膠技術(shù)從何而來？

無獨(dú)有偶，上海新陽在發(fā)力光刻膠之路也屢屢受挫。

早在2017年8月，上海新陽就曾宣布以自有資金在韓國設(shè)立全資子公司，企圖通過韓國子公司組織技術(shù)團(tuán)隊(duì)開展黑色光刻膠產(chǎn)品的研發(fā)和測試，待產(chǎn)品成熟后轉(zhuǎn)移至上海生產(chǎn)。

項(xiàng)目開展前往往是雄心壯志的，上海新陽決心為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的長遠(yuǎn)發(fā)展做出貢獻(xiàn)，而項(xiàng)目結(jié)束也令人猝不及防。

半年之后，上海新陽就終止了對外投資設(shè)立韓國全資子公司。上海新陽表示，受多種因素影響，公司現(xiàn)階段無法完成在韓國設(shè)立子公司的注冊工作，公司未來考慮采取其它方式進(jìn)行平板顯示產(chǎn)業(yè)用的黑色光刻膠產(chǎn)品的研發(fā)及生產(chǎn)。

通過在韓國設(shè)立子公司組織技術(shù)團(tuán)隊(duì)的路已然是走不通了，但上海新陽卻更加“堅(jiān)定”的朝著光刻膠的道路走。

2018年3月，上海新陽宣布與鄧海博士技術(shù)團(tuán)隊(duì)共同投資設(shè)立子公司開展 193nm（ArF）干法光刻膠研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。子公司原定注冊資本為 1億元人民幣，上海新陽出資 8000 萬元人民幣，占目標(biāo)公司股權(quán)的 80%；鄧海博士技術(shù)團(tuán)隊(duì)出資 2000 萬元人民幣，占目標(biāo)公司股權(quán)的 20%。

2018年5月，上海芯刻微材料技術(shù)有限責(zé)任公司（以下簡稱“芯刻微”）正式設(shè)立。不過，鄧海博士技術(shù)團(tuán)隊(duì)并未實(shí)際出資，故此，上海新陽在2018年報(bào)中寫道，其對芯刻微的認(rèn)繳比例80%，出資比例為100%，對芯刻微的直接持股比例為100%。

早有知情人士透露，上海新陽與鄧海博士技術(shù)團(tuán)隊(duì)在2018年底就出現(xiàn)了矛盾，2019年初已經(jīng)徹底“鬧掰”了。

果然，2019年5月10日，上海新陽發(fā)布公告稱，經(jīng)公司與合作方充分溝通并達(dá)成一致，公司擬以 0 元受讓合作方持有的上海芯刻微公司20%股權(quán)，并解除雙方簽訂的《193光刻膠項(xiàng)目合作開發(fā)協(xié)議》及基于“開發(fā)協(xié)議”達(dá)成的一切合作。

值得注意的是，鄧海先生為上海新陽193nm光刻膠項(xiàng)目的負(fù)責(zé)人，負(fù)責(zé)光刻膠產(chǎn)品的研發(fā)及生產(chǎn)。此外，本次項(xiàng)目的技術(shù)服務(wù)和配套原料服務(wù)也是由鄧海博士控制下珠海雅天提供的。也就是說，鄧海博士技術(shù)團(tuán)隊(duì)是上海新陽193nm光刻膠產(chǎn)品的技術(shù)來源。

不知為何，上海新陽并未對外宣布新的技術(shù)來源和負(fù)責(zé)人。目前，上海新陽193nm光刻膠產(chǎn)品處于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)階段，在此情況下，該項(xiàng)目顯得有些“岌岌可?！?。

據(jù)知情人士透露，上海新陽已經(jīng)再次轉(zhuǎn)換戰(zhàn)場，選擇研發(fā)3D NAND用的KrF 光刻膠。

從黑色光刻膠到ArF光刻膠再到3D NAND用的KrF 光刻膠，上海新陽在光刻膠的門前來來去去，走走停停。光刻膠本就是一個(gè)技術(shù)壁壘非常高的產(chǎn)品，而上海新陽并不是第一個(gè)宣稱要向高端光刻膠進(jìn)軍的廠商，一再轉(zhuǎn)換賽道使其發(fā)展進(jìn)程更為落后，留給上海新陽的時(shí)間，或許不多了。