我國每年進口額最大的單項商品是什么?是石油嗎?不是。是鐵礦石?更不是。是芯片!是集成電路芯片!我國每年進口的集成電路芯片價值高達1200億美元。放眼世界，集成電路作為信息產業(yè)的基礎和核心，是國民經濟和社會發(fā)展的戰(zhàn)略性產業(yè)，在推動經濟發(fā)展、社會進步、提高人民生活水平以及保障國家安全等方面發(fā)揮著重要作用。能否用自己的關鍵裝備生產集成電路，已成為當前國際競爭的焦點和衡量一個國家或地區(qū)現(xiàn)代化程度以及綜合國力的重要標志。

　　由于西方國家的技術封鎖和國內較為薄弱的高科技產業(yè)基礎，中國一直沒有自己的集成電路制造關鍵裝備，長期以來在國際競爭中缺少話語權，嚴重制約了我國集成電路產業(yè)的快速發(fā)展。2002年3月，上海微電子裝備有限公司(簡稱SMEE)肩負起為我國集成電路產業(yè)發(fā)展研制關鍵裝備——光刻機的歷史使命，在上海浦東張江高科技園區(qū)這片創(chuàng)新的熱土上誕生了。十年來，SMEE一步一個腳印，踏實地邁出了開發(fā)國產高端光刻設備堅實的步伐。

　　集成電路，通俗說就是“芯片”。隨著信息社會的發(fā)展，手機、電腦、電視等各種電子移動終端都離不開集成電路。自從1958年世界上第一塊集成電路問世以來，它的體積越來越小，性能越來越強大。特別是近20年來，幾乎每隔兩三年就有一代產品問世。要把一塊體積小巧、功能強大的集成電路芯片制造出來，除了卓越的電路設計外，更離不開將設計圖型轉換成高性能芯片的制造設備，而其中最為關鍵的設備就是光刻機。在摩爾定律的推動下光刻機的精密程度已經以納米為單位。

　　人們常說，制造一塊芯片，其精細程度比在一根頭發(fā)絲上“繡花”還要高。高端光刻機是集成電路裝備中技術難度最高、價格最昂貴的關鍵設備，是精密光學、機械、控制和材料等先進科學技術和工程技術共同交叉融合的復雜大系統(tǒng)產物，它的研發(fā)過程及研發(fā)成果對集成電路產業(yè)和信息產業(yè)的發(fā)展具有極大的技術帶動作用。

　　SMEE的工程師們打了個更形象的比方：用光刻機在硅片上刻電路，猶如兩架波音747客機在以每小時1000公里的速度同步飛行時，它們可以同時在一顆小米粒上刻字!這正是高端光刻機工件臺掩模臺高速同步運動時所達到的納米級同步精度。要制造出如此高精度的芯片，對光刻機本身的各項精度要求就更高，以重要零件鏡片面形誤差為例，必須在5納米以內，相當于整個足球場的高低誤差不超過0.5毫米。