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標簽 > mems傳感

mems傳感

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MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等多種學科與技術,具有廣闊的應用前景。

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mems傳感資訊

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